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科磊半导体设备技术(上海)有限公司
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ZetaScan

 
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ZetaScan
ZetaScan
价格:面议
  • 品牌:KLA
  • 型号:ZetaScan
  • 产地:上海 浦东新区
  • ZetaScan是针对无图案晶圆/玻璃面板的激光检测系统,它采用多通道检测技术对玻璃上的缺陷进行检测和分类。扫描光束光学系统将高灵敏度与高产量相结合,可在几分钟内检测全部表面。通过扫描生成晶圆图,可以...