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ZetaScan价格:面议
- 品牌: KLA
- 型号:ZetaScan
- 产地:浦东新区
ZetaScan是针对无图案晶圆/玻璃面板的激光检测系统,它采用多通道检测技术对玻璃上的缺陷进行检测和分类。扫描光束光学系统将高灵敏度与高产量相结合,可在几分钟内检测全部表面。通过扫描生成晶圆图,可以...
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仪企号科磊半导体设备技术(上海)有限公司
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ZetaScan是针对无图案晶圆/玻璃面板的激光检测系统,它采用多通道检测技术对玻璃上的缺陷进行检测和分类。扫描光束光学系统将高灵敏度与高产量相结合,可在几分钟内检测全部表面。通过扫描生成晶圆图,可以...