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科磊半导体设备技术(上海)有限公司
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Tencor™ P-7 Stylus Profiler

 
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探针式轮廓仪 Tencor™ P-7 Stylus Profiler
  • 品牌:KLA
  • 型号:Tencor™ P-7
  • 产地:上海 浦东新区
  • Tencor P-7支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量,适用于生产和研发环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达150mm而无需图像拼接。