探针式轮廓仪 Tencor™ P-7 Stylus Profiler
探针式轮廓仪 Tencor™ P-7 Stylus Profiler
探针式轮廓仪 Tencor™ P-7 Stylus Profiler
探针式轮廓仪 Tencor™ P-17 Stylus Profiler
探针式轮廓仪 Tencor™ P-170 Stylus Profiler
探针式轮廓仪 Alpha-Step® D-500 Stylus Profiler
产品描述
Tencor P-7建立在市场领先的Tencor P-17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。 它保持了Tencor P-17技术的卓 越测量性能，并作为台式探针轮廓仪平台提供了极高的性价比。Tencor P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达150mm而无需图像拼接。
主要功能
台阶高度：几纳米至1000μm
微力恒力控制：0.03至50mg
样品全直径扫描，无需图像拼接
视频：500万像素高分辨率彩色摄像机
圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差
软件：简单易用的软件界面
生产能力：通过测序，模式识别和SECS / GEM实现全自动化
主要应用
台阶高度：2D和3D台阶高度
纹理：2D和3D粗糙度和波纹度
形状：2D和3D翘曲和形状
应力：2D和3D薄膜应力
缺陷复检：2D和3D缺陷表面形貌
工业应用
大学、研究实验室和研究所
半导体和化合物半导体
LED：发光二极管
太阳能
MEMS：微机电系统
数据存储
汽车
医疗设备
还有更多：请与我们联系以满足您的要求
应用
台阶高度
Tencor P-7可以提供纳米级到1000μm的2D和3D台阶高度的测量。 这使其能够量化在蚀刻，溅射，SIMS，沉积，旋涂，CMP和其他工艺期间沉积或去除的材料。Tencor P-7具有恒力控制功能，无论台阶高度如何都可以动态调整并施加相同的微力。这保证了良好的测量稳定性并且能够精确测量诸如光刻胶的软性材料。
纹理：粗糙度和波纹度
Tencor P-7提供2D和3D纹理测量并量化样品的粗糙度和波纹度。软件滤镜功能将测量值分为粗糙度和波纹度部分，并计算诸如均方根（RMS）粗糙度之类的参数。
外形：翘曲和形状
Tencor P-7可以测量表面的2D形状或翘曲。这包括对晶圆翘曲的测量，例如半导体或化合物半导体器件生产中的多层沉积期间由于层与层的不匹配是导致这种翘曲的原因。Tencor P-7还可以量化包括透镜在内的结构高度和曲率半径。
应力：2D和3D薄膜应力
Tencor P-7能够测量在生产包含多个工艺层的半导体或化合物半导体器件期间所产生的应力。 使用应力卡盘将样品支撑在中性位置并精确测量样品翘曲。 然后通过应用Stoney方程，利用诸如薄膜沉积工艺的形状变化来计算应力。2D应力通过在直径达200mm的样品上通过单次扫描测量，无需图像拼接。3D应力的测量采用多个2D扫描，并结合θ平台在扫描之间的旋转对整个样品表面进行测量。
缺陷复检
缺陷复查用于测量如划痕深度之类的缺陷形貌。缺陷检测设备找出缺陷并将其位置坐标写入KLARF文件。 “缺陷复检”功能读取KLARF文件、对准样本，并允许用户选择缺陷进行2D或3D测量。
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晶圆几何形貌测量及参数自动检测机使用高精度高速光谱共焦双探头对射传感器实现晶圆的非接触式测量，结合高精度运动模组及晶圆机械手可实现晶圆形貌的亚微米级精度的测量，该系统适用于晶圆多种材质的晶圆，包括蓝宝石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等；
晶圆几何形貌及参数自动检测机PLS- F1000/ F1002 是一款专门测量晶圆厚度、TTV, Bow, Warp, TIR, Sori, Sag, LTV等参数的自动晶圆形貌检测及分选机。
晶圆几何形貌及参数红外干涉自动检测机使用高精度高速红外干涉点传感器实现晶圆的非接触式测量，结合高精度运动模组及晶圆机械手可实现晶圆形貌的亚微米级精度的测量，该系统适用于晶圆多种材质的晶圆，包括蓝宝石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等；可以实现的尺寸与结构测量内容包括： 包括 TTV, Bow, Warp, Thickness ， TIR, Sag, LTV(Fullmap 测试)。
专为测量旋转对称样品的表面形貌和透明薄膜的厚度而设计，如金刚石车削光学表面和模塑或抛光的非球面透镜
灵活性和效率 • 测量系统在实验室以及生产环境中均可使用 • 几乎可对任何材料进行测量 • 测量软件直观的用户引导确保了测量过程简单快速 • 无需进行耗时的样品制备（例如，定向、防反射涂层或喷溅涂覆法等） • 短短几秒便可完成表面扫描和 2D 轮廓 • 通过双向扫描之类的功能可进一步加快原本就很高的测量速度
▶功率需求：约500W； ▶交流220V±10%，50Hz ▶环境要求：温度：10～30℃； ▶相对湿度：＜85% ▶安装地点无明显振源
营业执照未审核
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沪公网安备 31011502008050号