产品介绍
ZetaScan为显示器和太阳能应用提供高产量面板检测，其中包括玻璃上表面和下表面的颗粒、凹坑、凸起、划痕、嵌入缺陷，以及GaAs上的薄膜缺陷。宏观与微观缺陷的分类结合了光学特征和缺陷属性。ZetaScan检测系统的高灵敏度提供了一种经济高效的解决方案，适用于工艺开发和大批量制造工艺监控。
主要功能
检测玻璃晶圆和面板上的缺陷
手动最 大支持Gen2尺寸的面板，厚度为最 大支持2.5mm的样品
侦测颗粒、划痕、凹坑、凸起、污渍和其他表面缺陷
应用案例
衬底质量控制
衬底供应商比较
入厂晶圆质量控制 (IQC)
出厂晶圆质量控制 (OQC)
CMP（化学机械抛光工艺）/抛光工艺控制
晶圆清洗工艺控制
外延工艺控制
衬底与外延相关分析
外延反应设备供应商比较
工艺设备监控
报价：面议
已咨询2856次ZetaScan
Filmetrics®电阻测试仪在超过45年的电阻测量创新和技术专长的基础上开发而成。自从1975年ADE 6035电阻计问世到Tencor Instruments、Prometrix和Filmetrics的技术开发，R系列电阻量测仪R50是综合技术专长的结晶。
Filmetrics®电阻测试仪在超过45年的电阻测量创新和技术专长的基础上开发而成。自从1975年ADE 6035电阻计问世到Tencor Instruments、Prometrix和Filmetrics的技术开发，R系列电阻量测仪R50是综合技术专长的结晶。
ZetaScan是针对无图案晶圆/玻璃面板的激光检测系统，它采用多通道检测技术对玻璃上的缺陷进行检测和分类。扫描光束光学系统将高灵敏度与高产量相结合，可在几分钟内检测全部表面。通过扫描生成晶圆图，可以对玻璃上表面和下表面颗粒进行自动缺陷分类。
Candela 8720缺陷检测系统集成了表面和光致发光(PL)检测技术，能够捕获各种关键的衬底和外延缺陷。使用统计工艺控制(SPC)方法的自动化晶圆检测可显着降低因外延缺陷导致的良率损失，Z大限度地减少金属有机化学气相沉积(MOCVD)设备的工艺偏差，并增加MOCVD工艺设备的正常运行时间。
Candela 8520第二代集成式光致发光(PL)和表面缺陷检测系统专为SiC和GaN衬底和外延晶圆缺陷进行高级表征而设计。使用统计工艺控制(SPC)方法的自动化晶圆检测可显降低因衬底和外延缺陷而导致的良率损失，Z大限度地减少金属有机化学气相沉积(MOCVD)反应设备的工艺偏差，并增加MOCVD反应设备的正常运行时间。
Candela 8420是采用多通道探测技术的表面缺陷检测系统，可以在砷化镓 (GaAs)、磷化铟 (InP)、钽酸锂、铌酸锂、玻璃、蓝宝石等不透明、半透明和透明化合物半导体材料晶圆上提供颗粒、划痕、凹坑、凸起和污渍的检测并根据规则对缺陷进行分类。Candela 8420表面缺陷检测系统采用专利的OSA（光学表面分析仪）架构，同时测量散射强度、表面形貌变化、表面反射和相位变化，对各种关键缺陷(DOI)进行自动检测和分类。在几分钟内实现全表面检测，并生成高分辨率图像和检测报告，输出缺陷分类和分布图。
InSEM®HT（高温）通过在真空环境中分别独立加热压头和样品以测量高温下的硬度、模量和刚度。 InSEM HT与扫描电子显微镜（SEM）和聚焦离子束（FIB）工作室，或独立的真空工作室兼容。 配有的InView软件可帮助高级研究人员开发新的实验。科学出版文献表明，InSEM HT结果与传统的大规模高温测试数据匹配良好。测试温度范围宽以及拥有成本低的特点使InSEM HT成为材料开发研究计划中很有价值的设备。
NanoFlip纳米压痕仪可在真空和常压条件下对硬度、模量、屈服强度、刚度和其他纳米力学测试进行高精确度的测量。在扫描电子显微镜（SEM）和聚焦离子束（FIB）系统中，NanoFlip在测试（例如柱压缩）方面表现优异，可以将SEM图像与机械测试数据同步。NanoFlip测量迅速，这对于惰性环境（例如手套箱）中测试异质材料很关键。系统所配置的可选套件，例如InForce50电磁驱动器，可以提供定量结果，从而为材料研究提供有价值的解决方案。
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