「Candela 8520」价格、参数、图片

为你推荐

产品特点：

Candela 8520第二代集成式光致发光(PL)和表面缺陷检测系统专为SiC和GaN衬底和外延晶圆缺陷进行高级表征而设计。使用统计工艺控制(SPC)方法的自动化晶圆检测可显降低因衬底和外延缺陷而导致的良率损失，Z大限度地减少金属有机化学气相沉积(MOCVD)反应设备的工艺偏差，并增加MOCVD反应设备的正常运行时间。

产品详情：

QQ截图20220613195634.png

产品介绍

Candela 8520检测系统采用专利光学技术，可以同时测量两个入射角度的散射信号。它还能够自动检测并捕获表面反射、表面形貌变化、相位变化和光致发光信号，并对各种关键缺陷(DOI)进行分类。Candela 8520可以为GaN晶圆提供表面和光致发光缺陷检测，对GaN晶体缺陷、凹坑和孔洞进行检测和分类，并可用于GaN外延设备缺陷控制。功率器件应用包括SiC透明晶圆的晶体缺陷和表面缺陷的检测和分类，其中包括BPD（基平面位错）、微管、堆叠层错、晶界、位错，以及三角形缺陷、胡萝卜缺陷、掉落物缺陷和划痕等形貌缺陷。

QQ截图20220613195715.png

主要功能

检测宽禁带材料上的缺陷，包括直径50mm~200mm的SiC和GaN（衬底和外延）
支持多种不同的晶圆厚度
检测颗粒、划痕、裂纹、污渍、凹坑、凸起、KOH腐蚀、掉落物、表面三角形缺陷和胡萝卜缺陷、基平面位错、堆叠层错、晶界、位错和其他宏观外延缺陷

QQ截图20220613195721.png

应用案例

衬底质量控制
衬底供应商比较
入厂晶圆质量控制 (IQC)
出厂晶圆质量控制 (OQC)
CMP（化学机械抛光工艺）/抛光工艺控制
晶圆清洗工艺控制
外延工艺控制
衬底与外延相关分析
外延反应设备供应商比较
工艺设备监控

QQ截图20220613195727.png

工业用途

SiC和GaN功率器件
其他高端化合物半导体器件

QQ截图20220613195731.png

系统选项

SECS-GEM
信号灯塔
金刚石划片器
校准标准片
离线软件
光学字符识别 (OCR)
光致发光

您可能感兴趣的产品

Candela 8520

报价：面议
已咨询5544次

Candela 8520
缺陷检测Candela CS920表面缺陷检测仪

报价：面议
已咨询216次

表面缺陷检测仪
美国BK 直流电子负载8520

报价：面议
已咨询144次

其它
Eberbach 8520 不锈钢容器, 带顶盖, 75-500 ML

报价：面议
已咨询181次

混合器和捣碎器

问厂商（厂商专业解答）

Candela 8520数据能否导出？是否合规
Candela 8520应用在哪些领域？
Candela 8520售后响应速度
Candela 8520使用寿命和质保时间
Candela 8520范围和精度是多少？
介绍下Candela 8520的工作原理

科磊半导体设备技术（上海）有限公司为你提供Candela 8520信息大全，包括Candela 8520价格、型号、参数、图片等信息；如想了解更多产品相关详情，烦请致电详谈或在线留言！: 移动端：Candela 8520

相关品类
同厂商产品
同类产品
相关厂商

您可能还在找

Candela 8520

科磊半导体设备技术（上海）有限公司

新品推荐: Filmetrics R50-EC

Filmetrics®电阻测试仪在超过45年的电阻测量创新和技术专长的基础上开发而成。自从1975年ADE 6035电阻计问世到Tencor Instruments、Prometrix和Filmetrics的技术开发，R系列电阻量测仪R50是综合技术专长的结晶。; Filmetrics R50-4PP

Filmetrics®电阻测试仪在超过45年的电阻测量创新和技术专长的基础上开发而成。自从1975年ADE 6035电阻计问世到Tencor Instruments、Prometrix和Filmetrics的技术开发，R系列电阻量测仪R50是综合技术专长的结晶。; ZetaScan

ZetaScan是针对无图案晶圆/玻璃面板的激光检测系统，它采用多通道检测技术对玻璃上的缺陷进行检测和分类。扫描光束光学系统将高灵敏度与高产量相结合，可在几分钟内检测全部表面。通过扫描生成晶圆图，可以对玻璃上表面和下表面颗粒进行自动缺陷分类。; Candela 8720

Candela 8720缺陷检测系统集成了表面和光致发光(PL)检测技术，能够捕获各种关键的衬底和外延缺陷。使用统计工艺控制(SPC)方法的自动化晶圆检测可显着降低因外延缺陷导致的良率损失，Z大限度地减少金属有机化学气相沉积(MOCVD)设备的工艺偏差，并增加MOCVD工艺设备的正常运行时间。; Candela 8520

Candela 8520第二代集成式光致发光(PL)和表面缺陷检测系统专为SiC和GaN衬底和外延晶圆缺陷进行高级表征而设计。使用统计工艺控制(SPC)方法的自动化晶圆检测可显降低因衬底和外延缺陷而导致的良率损失，Z大限度地减少金属有机化学气相沉积(MOCVD)反应设备的工艺偏差，并增加MOCVD反应设备的正常运行时间。; Candela 8420

Candela 8420是采用多通道探测技术的表面缺陷检测系统，可以在砷化镓 (GaAs)、磷化铟 (InP)、钽酸锂、铌酸锂、玻璃、蓝宝石等不透明、半透明和透明化合物半导体材料晶圆上提供颗粒、划痕、凹坑、凸起和污渍的检测并根据规则对缺陷进行分类。Candela 8420表面缺陷检测系统采用专利的OSA（光学表面分析仪）架构，同时测量散射强度、表面形貌变化、表面反射和相位变化，对各种关键缺陷(DOI)进行自动检测和分类。在几分钟内实现全表面检测，并生成高分辨率图像和检测报告，输出缺陷分类和分布图。; InSEM®HT

InSEM®HT（高温）通过在真空环境中分别独立加热压头和样品以测量高温下的硬度、模量和刚度。 InSEM HT与扫描电子显微镜（SEM）和聚焦离子束（FIB）工作室，或独立的真空工作室兼容。配有的InView软件可帮助高级研究人员开发新的实验。科学出版文献表明，InSEM HT结果与传统的大规模高温测试数据匹配良好。测试温度范围宽以及拥有成本低的特点使InSEM HT成为材料开发研究计划中很有价值的设备。; 纳米压痕仪 NanoFlip

NanoFlip纳米压痕仪可在真空和常压条件下对硬度、模量、屈服强度、刚度和其他纳米力学测试进行高精确度的测量。在扫描电子显微镜（SEM）和聚焦离子束（FIB）系统中，NanoFlip在测试（例如柱压缩）方面表现优异，可以将SEM图像与机械测试数据同步。NanoFlip测量迅速，这对于惰性环境（例如手套箱）中测试异质材料很关键。系统所配置的可选套件，例如InForce50电磁驱动器，可以提供定量结果，从而为材料研究提供有价值的解决方案。