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XRD检测-单层膜X射线反射率测定
发布：束蕴仪器（上海）有限公司浏览次数：3引言
X射线反射率（XRR：X-Ray Reflectivity）是一种表面表征技术，是利用X射线在不同物质表面或界面的反射线之间的干涉现象分析薄膜或多层膜结构的工具。通过分析XRR图谱(图1)可以确定各层薄膜的密度、膜厚、粗糙度等结构参数。
XRR的特点：
1无损检测
2对样品的结晶状态没有要求，不论是单晶膜、多晶膜还是非晶膜均可以进行测试
3 XRR适用于纳米薄膜，要求厚度小于500nm
4 晶面膜，表面粗糙度一般不超过5nm
5 多层膜之间要求有密度差
图1 XRR曲线与薄膜结构参数关系
实例 IZO薄膜，玻璃衬底
2022-06-17相关仪器 -
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