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德国尤尼坦 大尺寸快速退火炉(12英寸) - 适合光伏样品 VPO-300
- 品牌：德国UniTemp
- 型号： (12)-VPO-300
- 产地：德国
- 供应商报价： 面议
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深圳市科时达电子科技有限公司
更新时间：2024-04-29 06:23:35 -
企业性质一般经销商
入驻年限第3年
营业执照已审核
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- 详细介绍
快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用。
VPO-300是一款很有特点的快速退火炉，有非常大的退火空间，适合大尺寸样品的热处理。
仪器特点：
- 快速热处理、快速热退火 RTP / RTA；
- 可在真空、甚至于高真空环境使用；
- 加热区域尺寸：300毫米 X 300毫米；
- 广泛用于太阳能电池片快速退火工艺，如156mm X 156mm电池片，300mm X 300mm电池片等；
- 产品优势
- 快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用。
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