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- 品牌： 德国UniTemp
- 型号：(12)-VPO-300
- 产地：德国
快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用。
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德国UniTemp
UniTemp GmbH专业生产各种热加工设备。公司的主要特点是快速热退火系统、回流焊炉（无助焊剂和无空洞焊接）和高精度热板。公司还提供可使用助焊剂的 VSS 真空焊接系统。
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