- 干涉仪/激光干涉仪/白光干涉仪简介
- 干涉仪是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。激光干涉仪以激光波长为已知长度,利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作,并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。白光干涉仪利用时间相关性非常低的白光通过分光板作为参考光和样品照射光,两路光束很容易被测量。
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