高精度位移测量仪-激光干涉仪

昊量光电推出的PICOSCALE位移测量仪产品是基于激光干涉方法设计的非接触式位移和振动测量设备。因为不需要物理接触，所以测量不会影响物体。这尤其适用于较小的物体，它们的动力学很容易受到传统测量探头的影响。微位移测量仪广泛应用于定位技术中，可以在pm分辨率下位移跟踪定位。我们提供可用于一般用途或优化特定的任务的各种传感头，如角度或差分测量。此外，我们提供用于真空、低温或其他恶劣环境的传感器头。由于它们的紧凑性，它们几乎适用于所有的设置。

除了测量位移，位移测量激光干涉仪还可用于描述运动过程中的动态性能。由于位置数据是在非常高的带宽下测量的，因此可以实时准确地识别振动，并进行详细的振动模态分析。

基本原理：

所有的PICOSCALE高精度位移测量仪都基于迈克尔逊干涉仪，这是一种测量位移和振动的方法。迈克尔逊干涉仪由一个波长稳定激光器、一个分束器、一个目标和一个参考镜组成。在分束器上，来自激光的光被分成两支。一只手臂指向目标表面，另一只手臂指向参考镜。当两臂的光分别被目标表面和参考镜反射后，再回到分束器。这里，两条手臂重新组合，发生了干涉。干涉信号包含目标表面相对于参考镜的位移信息。