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仪器网>产品中心> 光学仪器>光学测量仪器>干涉仪/激光干涉仪/白光干涉仪>KLA 白光干涉仪Profilm 3D

KLA 白光干涉仪Profilm 3D

面议 (具体成交价以合同协议为准)
KLA Profilm 3D 美洲 美国 2026-04-23 15:54:03
售全国 入驻:2年 等级:银牌 营业执照已审核
同款产品:白光干涉仪(1件)
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产品特点:

※ 从纳米级到毫米级的3D台阶高度
※ 3D粗糙度、波纹度、翘曲度和形状,纹理表征
※ 3D缺陷表面形貌、缺陷表征
※ 大型透明薄膜的表面进行高分辨率扫描
※ 高粗糙度,低反射率,划痕表征

产品详情:

白光干涉仪

Profilm 3D

支持垂直扫描和移相干涉测量法高分辨率地测量亚纳米级的表面形貌。采用TotalFocus 技术,可以产生令人惊叹的 3D 自然彩色图像,每个像素都处于聚焦状态。

图片5.png

 

2mm宽视野

The Profilm3D以10倍物镜提供2毫米视野,提供手动或自动物镜切换炮塔等配置可弹性运用于需使用多物镜应用之样片

 

自动样品台

100 /200mm自动XY样品平台,自动对焦,Tip-Tilt功能


粗糙度成像增强

粗糙度增强模式 (ERM) 可提高条纹对比度,从而提高透镜等斜率较大的表面的保真度,并改善了粗糙表面上的信噪比

 

移相干涉成像(PSI)                      

图片6.png


 TotalFocus 无限景深成像

图片7.png

  

光学性能                                                                机械规格

主要参数

WLI(VSI

PSI


Z轴行程

100mm

厚度量程

50nm~10mm

0~3μm


Pizeo(压电)行程

500μm

RMS重复性

1.0nm

0.1m


垂直扫描速度

12μm/秒

台阶高度精度

0.7%


相机

2592 x 1944(5MP)

台阶高度重复性

0.1%


相机变焦

1×,2×,4×

样品反射率

0.05%~100%


Tip-Tilt样品台

±5°,手动



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