KLA 白光干涉仪Profilm 3D
KLA 三维光学轮廓仪Zeta-20
探针式轮廓仪/台阶仪Alpha-Step D500 /D600
探针式轮廓仪/台阶仪Tencor P7 /P17
高压极化装置
白光干涉仪
Profilm 3D
支持垂直扫描和移相干涉测量法,高分辨率地测量亚纳米级的表面形貌。采用TotalFocus 技术,可以产生令人惊叹的 3D 自然彩色图像,每个像素都处于聚焦状态。

2mm宽视野
The Profilm3D以10倍物镜提供2毫米视野,提供手动或自动物镜切换炮塔等配置可弹性运用于需使用多物镜应用之样片
自动样品台
100 /200mm自动XY样品平台,自动对焦,Tip-Tilt功能
粗糙度成像增强
粗糙度增强模式 (ERM) 可提高条纹对比度,从而提高透镜等斜率较大的表面的保真度,并改善了粗糙表面上的信噪比
移相干涉成像(PSI)

TotalFocus 无限景深成像

光学性能 机械规格
主要参数 | WLI(VSI) | PSI | Z轴行程 | 100mm | |
厚度量程 | 50nm~10mm | 0~3μm | Pizeo(压电)行程 | 500μm | |
RMS重复性 | 1.0nm | 0.1m | 垂直扫描速度 | 12μm/秒 | |
台阶高度精度 | 0.7% | 相机 | 2592 x 1944(5MP) | ||
台阶高度重复性 | 0.1% | 相机变焦 | 1×,2×,4× | ||
样品反射率 | 0.05%~100% | Tip-Tilt样品台 | ±5°,手动 | ||
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Proflim 3D是一款基于白光干涉仪的光学轮廓仪,采用相位扫描干涉技术(PSI)对纳米级特征进行测量,以及采用垂直扫描干涉技术(VSI)对亚微米至毫米级特征进行测量。 Proflim 3D的程序设置简单灵活,可以进行单次扫描或多点自动测量,适用于研发和生产环境。
※ 从纳米级到毫米级的3D台阶高度 ※ 3D粗糙度、波纹度、翘曲度和形状,纹理表征 ※ 3D缺陷表面形貌、缺陷表征 ※ 大型透明薄膜的表面进行高分辨率扫描 ※ 高粗糙度,低反射率,划痕表征
满足计量检测用户更稳定、更高精度、更便利的使用要求;双频激光干涉仪
专为光刻机配套开发的高精度测量系统;双频激光干涉仪,进口设备转国产化的优选产品
FUJINON IR10 富士红外激光干涉仪 产品信息 品牌:FUJINON 型号:IR10 产地:日本
ZeGage™ Plus 激光干涉仪是用于3D形貌定量测试,和精密机械表面粗糙度检测的理想非接触式检测工具。
ZYGO的Verifire™ MST激光干涉仪通过波长调制技术和ZYGO新的傅立叶变换方法,可以进行三个甚至四个平行面的测量,不仅可以显示所有的面,并且可以排除其他的面而单独显示你所需要的面。