干涉仪/激光干涉仪/白光干涉仪

※ 从纳米级到毫米级的3D台阶高度 ※ 3D粗糙度、波纹度、翘曲度和形状，纹理表征 ※ 3D缺陷表面形貌、缺陷表征 ※ 大型透明薄膜的表面进行高分辨率扫描 ※ 高粗糙度，低反射率，划痕表征

满足计量检测用户更稳定、更高精度、更便利的使用要求；双频激光干涉仪

专为光刻机配套开发的高精度测量系统；双频激光干涉仪，进口设备转国产化的优选产品

FUJINON IR10 富士红外激光干涉仪 产品信息 品牌：FUJINON 型号：IR10 产地：日本

ZeGage™ Plus 激光干涉仪是用于3D形貌定量测试，和精密机械表面粗糙度检测的理想非接触式检测工具。

ZYGO的Verifire™ MST激光干涉仪通过波长调制技术和ZYGO新的傅立叶变换方法，可以进行三个甚至四个平行面的测量，不仅可以显示所有的面，并且可以排除其他的面而单独显示你所需要的面。