白光干涉测量系统沿着垂直轴向捕获光强数据,通过白光干涉图的形状,局部相位或者两者结合确定表面位置
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Vertical Resolution 垂直分辨率 |
0.1nm 0.1nm |
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Turret 转轮 |
upto 6 objective turret (manual or automatic) 6镜头转轮(自动或手动) |
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Scan Range 扫描范围 |
Up to 150mm x 150mm 最高达150mmx150mm |
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Sample thickness 试样厚度 |
upto 100mm 最高达100mm |
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FOV 视场 |
upto 10mm 最高达10mm |
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Objectives 物镜 |
10x,50x 10倍,50倍 |
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Z focussing range Z轴方向聚焦范围 |
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Scanning area 扫描区域 |
150x150mm 150x150mm |
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Tilt 倾斜角 |
+/- 7 degree +/-7度 |
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Rotation (theta) 平台旋转范围 |
360 Degree 360度 |
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Pixel 像素 |
Standard 1024 x 1024 标准1024x1024 |
报价:面议
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Proflim 3D是一款基于白光干涉仪的光学轮廓仪,采用相位扫描干涉技术(PSI)对纳米级特征进行测量,以及采用垂直扫描干涉技术(VSI)对亚微米至毫米级特征进行测量。 Proflim 3D的程序设置简单灵活,可以进行单次扫描或多点自动测量,适用于研发和生产环境。
※ 从纳米级到毫米级的3D台阶高度 ※ 3D粗糙度、波纹度、翘曲度和形状,纹理表征 ※ 3D缺陷表面形貌、缺陷表征 ※ 大型透明薄膜的表面进行高分辨率扫描 ※ 高粗糙度,低反射率,划痕表征
满足计量检测用户更稳定、更高精度、更便利的使用要求;双频激光干涉仪
专为光刻机配套开发的高精度测量系统;双频激光干涉仪,进口设备转国产化的优选产品
FUJINON IR10 富士红外激光干涉仪 产品信息 品牌:FUJINON 型号:IR10 产地:日本
ZeGage™ Plus 激光干涉仪是用于3D形貌定量测试,和精密机械表面粗糙度检测的理想非接触式检测工具。
ZYGO的Verifire™ MST激光干涉仪通过波长调制技术和ZYGO新的傅立叶变换方法,可以进行三个甚至四个平行面的测量,不仅可以显示所有的面,并且可以排除其他的面而单独显示你所需要的面。