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三维白光干涉仪
- 品牌：美国Rtec
- 型号： UP-WLI
- 产地：美国
- 供应商报价： 面议
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南京冉锐科技有限公司
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企业性质
入驻年限第9年
营业执照
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- 详细介绍
白光干涉测量系统沿着垂直轴向捕获光强数据，通过白光干涉图的形状，局部相位或者两者结合确定表面位置
Vertical Resolution
垂直分辨率0.1nm
0.1nmTurret
转轮upto 6 objective turret (manual or automatic)
6镜头转轮（自动或手动）Scan Range
扫描范围Up to 150mm x 150mm
最高达150mmx150mmSample thickness
试样厚度upto 100mm
最高达100mmFOV
视场upto 10mm
最高达10mmObjectives
物镜10x,50x
10倍，50倍Z focussing range
Z轴方向聚焦范围nm to 10mm
0.1nm到10mm
Scanning area
扫描区域150x150mm
150x150mmTilt
倾斜角+/- 7 degree
+/-7度Rotation (theta)
平台旋转范围360 Degree
360度Pixel
像素Standard 1024 x 1024
标准1024x1024
