ZYGO Qualifire™ 激光干涉仪

Qualifire 为 Zygo 激光干涉仪产品线带来了这些崭新的功能和改进:

• 智能附件接口—干涉仪可以自动识别安装的“智能附件”，并自动加载应用系统误差文件以及进行横向校准。

• 体积小、重量轻 —Qualifire 系列中最小的型号重约 45 磅（20.4 千克）。 它是真正的便携式设备，尤其适用于经常移动或调整干涉仪的复杂、精密应用需求中。

• 集成式移相器（PMR）—PMR 是在被测元件和参考光学元件之间调制干涉条纹所必需的，最终形成定量的面型图。PMR集成式设计可提供： :

• 整体机械稳定性和校准

• 降低损坏和未对准的风险

• 确保性能一致，减少重新校准的需要

• 优化的用户体验 —更易于使用，有优化的电源按钮和机械安装支脚。更大的控制旋钮可实现更精确的调整，这对于对准和校准都至关重要。 集成式的手柄确保操作安全可靠。

• 更便利的维修 —密封的光学系统和集成的电子元件使各种组件的更换变得简单，而且光学元件不会暴露在污染物/灰尘环境中。

• 飞点模块—用于减少伪影的可选模块，包括自动对焦功能。

• 稳定变焦 —提供了一种崭新的变焦方法，使得在所有放大倍率下均能实现良好的图像配准和衍射限制下的图像采样。