角度干涉镜放在激光头和角度反射镜之间的光路上。对于沿水平轴的俯仰测量，两个光学元件都是垂直放置的，对于扭摆测量，两个光学元件都是水平放置的。激光光束经角度干涉镜的分光镜分为两束 A1 和 A2，光束 A1 直接穿过干涉镜并从角度反射镜的下半部反射回激光头；光束 A2 通过角度干涉镜的潜望镜射到角度反射镜的另一半后，再通过角度干涉镜反射回到激光头。角度测量是通过比较 A1 和 A2 之间的光程差完成的，即角度测量与激光头和角度反射镜之间的距离，以及两个光学元件之间的距离无关。
上传人：科德数控股份有限公司
大小：0 B
1178
报价：面议
已咨询2722次激光干涉仪
报价：面议
已咨询1811次激光干涉仪
报价：面议
已咨询4707次
报价：￥1680000
已咨询513次轮廓仪
报价：面议
已咨询55次激光干涉仪
报价：面议
已咨询2313次干涉仪
报价：面议
已咨询119次其他仪器
报价：面议
已咨询729次MTF测量仪
※ 从纳米级到毫米级的3D台阶高度 ※ 3D粗糙度、波纹度、翘曲度和形状，纹理表征 ※ 3D缺陷表面形貌、缺陷表征 ※ 大型透明薄膜的表面进行高分辨率扫描 ※ 高粗糙度，低反射率，划痕表征
满足计量检测用户更稳定、更高精度、更便利的使用要求；双频激光干涉仪
专为光刻机配套开发的高精度测量系统；双频激光干涉仪，进口设备转国产化的优选产品
FUJINON IR10 富士红外激光干涉仪 产品信息 品牌：FUJINON 型号：IR10 产地：日本
ZeGage™ Plus 激光干涉仪是用于3D形貌定量测试，和精密机械表面粗糙度检测的理想非接触式检测工具。
ZYGO的Verifire™ MST激光干涉仪通过波长调制技术和ZYGO新的傅立叶变换方法，可以进行三个甚至四个平行面的测量，不仅可以显示所有的面，并且可以排除其他的面而单独显示你所需要的面。
营业执照已审核
分享
收藏
沪公网安备 31011502008050号