美国ZYGO 激光干涉仪DynaFiz特点

美国ZYGO DynaFiz 系列激光干涉仪是面向实验室、科研和工业现场的高端测量工具，专注于快速、无损地获取复杂表面轮廓与波前误差。该系列以动态相位测量为核心，能够在振动和热扰动较大的场景下维持稳定的数据输出，适用于光学元件、薄膜涂层、晶片级平整度以及微结构检测等任务。通过与 Zygo 自家软件的深度对接，数据可直观地呈现轮廓高低、波前畸变及表面粗糙度的分布特征，支撑研发、质量控制和工艺优化全过程的决策。

典型型号与核心参数（示意，实际规格以厂家新公版为准）

• DF-Base（定碍型/基础配置）
• 测量范围：0.1–25 毫米
• 分辨率：约 0.1 纳米级
• 重现性：0.3–0.8 纳米级在常用工况下
• 激光来源：633 nm HeNe，双通道干涉架构
• 适用场景：平整度与轮廓的日常检测、材料表面初步评估
• DF-Plus（增强型）
• 测量范围：0.05–20 毫米
• 分辨率：約 0.05 纳米
• 重现性：0.2–0.6 纳米
• 特点：高带宽采样、低噪声路径、软件自校准
• 适用场景：高精度镜片涂层、微结构对位、在线监测
• DF-Ultra（高端旗舰）
• 测量范围：0.02–25 毫米
• 分辨率：约 0.02 纳米
• 重现性：<0.2 纳米
• 特点：多通道同步测量、动态波前分析、扩展接口与脚本化工作流
• 适用场景：超高精度光学元件、半导体外延与晶片级平整度评估

主要特性与应用亮点

• 非接触式测量，适用于柔性薄膜、易损涂层以及敏感光学元件的检测需求，避免机械应力造成的变形。
• 动态相位测量能力，使其在振动环境中也能获得可重复的轮廓数据，支持在线质控和快速迭代。
• 高分辨率与低噪声光路，结合专业软件的数据建模，能够给出表面轮廓、平整度、波前畸变以及局部区域的粗糙度分解。
• 软件集成度高，提供导出为 CSV/TXT、图像化热图、等高线等多种形式的输出，便于在工艺评估、检验报告和制程追溯中应用。
• 兼容性强，支持多种样件夹具和工位方案，便于在实验室台面、洁净室工位或产线镜片制程中的快速安装与切换。

场景化FAQ

• DynaFiz 适合哪些场景？常用于光学镜片、光学元件的表面轮廓测量、涂层均匀性评估、微结构和晶片级平整度检测，以及在线过程监控。对高动态变化的样品，其动态相位测量能力尤为有用。
• 与传统静态干涉仪相比有何优势？在振动和热扰动存在的场景中仍能保持较高数据可信度，采样带宽更高，适合快速工艺迭代和在线品质控制。
• 数据输出与后处理怎样？提供多种数据导出格式，含 CSV、TXT、PNG/TIFF 等图像格式，配合 Zygo 软件进行轮廓拟合、平整度分析、波前分解等分析模块。支持自定义脚本和批处理，便于批量样件的统一评估。
• 安装与维护要点？建议在稳定工作台上布置、将激光路径远离强光源和热源，定期对对准装置进行微调与自校准检查，并遵循厂家的维护手册进行校准、光路清洁和防尘处理。
• 购买前需要关注的事项？确认待测件的尺寸范围、表面性质、是否需要在线监控功能、以及软件与接口（如数据格式、互操作性）的需求，以确保与现有实验平台和制程系统的兼容性。

总体而言，DynaFiz 系列在高精度光学测量领域提供一种兼具动态能力与数据深度的解决方案，既能支撑科研探索中的高分辨需求，也能在工业现场的快速检验与过程控制中发挥作用。对于计划提升表面轮廓与波前控制精度的团队而言，理解各型号的测量范围、分辨率和重复性区间，以及掌握与之配套的软件工作流，将直接影响到实验设计与产线质量的提升效率。以上信息基于公开渠道整理的参数区间，实际规格请以 Zygo 官方新资料为准。若需要，我可以按你们的具体应用场景，定制一份更贴近你们工况的参数对比表和选型建议。