美国ZYGO 激光干涉仪DynaFiz参数

美国ZYGO 激光干涉仪DynaFiz是一款面向实验室、科研与工业现场的高精度动态干涉测量系统，专注于表面轮廓与动态响应的无触测量。其核心优势在于高分辨率相位测量、对高频振动的敏感响应，以及与软件的紧密协同，能够在微米量级甚至亚纳米量级的重复性基础上完成快速数据采集与分析。以下内容聚焦于产品知识普及与选型要点，方便工程师快速把握要点。

核心参数与配置要点

• 典型光源与波长
• 常用光源为632.8 nm的HeNe激光，波长稳定性优良，部分型号支持替换波长以适应不同涂层或材料的干涉条件。
• 波长稳定度通常在毫纳米量级对比，确保相位测量的长期稳定性。
• 动态测量能力与数据速率
• 实时数据更新率受探头与光路配置影响，常见范围从几千次到数万次每秒，可覆盖振动分析、冲击响应等场景。
• 动态量程与噪声水平在设计定标后可达到亚纳米级的重复性，环境干扰越小，动态性能越显著。
• 面形/表面轮廓量程
• 面形测量通常覆盖0.1 mm至数十毫米级的高度偏差，具体量程随工件尺寸、测量区域与光路设计而定。
• 对镜面、散射件及涂层样品均有良好适应性，能在不同表面反射率下保持稳定的干涉信号。
• 空间分辨率与场景适应性
• 载荷台与光路可实现多点测量、区域拼接及倾斜补偿，便于大面积组件的表面形貌评估。
• 支持2D/3D形貌分析、轮廓提取、胡克拟合与误差场可视化，便于与工艺良率对比。
• 软件与数据处理
• 配套软件提供相位展开发、轮廓提取、统计分析、包络与振型分析等模块，导出多种通用数据格式，便于后续工艺评估与仿真。
• 支持离线分析与现场快速诊断，用户可自定义分析流程以适应不同测试规范。
• 硬件接口与系统集成
• 标准化数据接口，方便接入PC工作站、实验室服务器或现场控制系统，便于与其他测量设备联动。
• 电源适配范围广，常见为100–240 VAC，便于全球部署；机箱与震动减振组件可在实验台或现场快速部署。
• 环境与维护
• 对温度、湿度与振动有一定要求，常建议在控温环境下进行长期测量；配套的自检与标定流程简化日常维护。
• 标配与选件通常包括防尘罩、振动隔离底座、标定靶件与校准工具，确保长期可重复性。

场景化应用要点

• 半导体晶圆与光学元件表面轮廓检测，快速获得高分辨率形貌数据，便于工艺优化与缺陷定位。
• 光学涂层厚度监控与均匀性分析，结合相位信息实现非接触式厚度分布测量。
• 微机电系统（MEMS）与微架构件的动态响应测试，获取振型与共振特性，支持设计评估与可靠性分析。
• 机械零件的装配公差评估，结合高重复性测量降低装配偏差对良率的影响。

FAQ 场景化问答

• DynaFiz 适用于哪些被测对象？ 欢迎用于高反射或低反射表面的轮廓测量，以及需要捕捉动态位移、振动响应的样件，如光学元件、涂层样品、精密机械零件等。

  
  

• 如何在现场获得稳定的重复性？ 选择合适的光路与参考件，使用振动隔离底座并将样件固定在高刚性载物台上；配合软件的区域对齐与倾斜补偿功能，反复标定后重复性通常显著提升。

  
  

• 静态与动态测量的精度差异在哪里？ 静态测量的重复性通常达到亚纳米级别，动态测量受环境噪声、光路稳定性与采样率影响，实际精度需通过现场标定确认。

  
  

• 与传统接触测量相比有何优势？ 非接触式测量避免了机械接触带来的变形与磨损，适合软性、脆性样品及高频振动场景；同时可实现更高时域分辨率的动态分析。

  
  

• 安装与维护的注意事项？ 现场要有稳定电源与控温环境，初次布置后进行系统自检和基线标定，定期进行光路清洁、靶板对比与软件更新，确保长期稳定性。

  
  

选型与采购要点

• 明确被测件尺寸、形貌尺度与动态特性，评估测量区域、分辨率和实时数据需求。
• 结合工作环境的温湿度、振动、空间约束，选择合适的光路配置和底座系统。
• 核对配套软件模块，确保包含轮廓分析、振型分析、导出格式及自动化脚本功能。
• 与经销商确认保修、校准周期与现场培训，确保后续维护与升级有保障。

简要总结 DynaFiz在高分辨率相位测量与动态分析方面具有明显优势，适合实验室研究到工业现场的多场景应用。通过对核心参数、配置选项与软件能力的充分了解，工程师可以在兼顾精度与生产效率的前提下，完成高质量的表面与动态特性测量。对于具体型号参数、价格与供货周期，请以ZYGO官方公布信息与授权渠道为准，以确保数据的准确性与及时性。