探针式轮廓仪/台阶仪Alpha-Step D500 /D600
探针式轮廓仪/台阶仪Tencor P7 /P17
KLA薄膜电阻测试仪R50
高温电阻测量系统RMS1000S
石英晶体微天平 QCM200
探针式轮廓仪（台阶仪）
Alpha-Step D500 /D600
采用新型光学反射探测系统测量高度，同时应用电磁力控制探针压力，能有效实现超微力和低惯量。探针的接触式测量技术的优点是直接测量，与材料特性无关。多种力度调节和探针尺寸选择可以让机台对各种结构和材料进行准确测量。这些功能可以表征因添加或移除材料而引起的形貌特征改变，以及测量由材料结构改变引起的粗糙度和应力变化。
技术特点
◆ 优秀的重复性和再现性
◆ 接触式测量，适用于多种材料
◆ 测量软材料的微力控制
◆ 梯形失真校正可消除侧视视图造成的失真
◆ 弧形校正补偿探针的弧形运动
应用范围
﹢ 2D/3D 表面形貌扫描
﹢ 纳米至1200μm台阶高度测量
﹢ 粗糙度和波纹度测量
﹢ 样品翘曲和曲率半径测量
﹢ 2D薄膜应力测量
型号 | D500 | D600 | |
台阶高度 | 5nm~1200μm | ||
分辨率 | 0.38Å | ||
重复性 | 5Å（1μm台阶） | ||
载力范围 | 0.03mg~15mg | ||
视频 | 5MP高分辨彩色相机 | ||
样品台 | 140mm手动XY轴，Z轴自动 | 200m三轴自动 | |
单次扫描 | 30mm | 55mm | |
图像拼接 | 80mm | 200mm | |
梯形失真校正 | 消除侧视视图造成的失真 | ||
弧形校正 | 消除探针的弧形运动引起的误差 | ||
扫描模式 | 2D | 2D/3D | |
报价：面议
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P-7建立在市场领先的P-17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。 它保持了P-17技术的测量性能，并作为台式探针轮廓仪平台提供了好的性价比。
KLA先进的探针式台阶仪Alpha-Step D-600，可测量纳米级至1200um台阶高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波纹度、应力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%台阶高度重复性以及亚埃级的分辨率
Alpha-Step D-300 探针式轮廓仪支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D 测量。光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量，大垂直范围和低触力测量功能。
Alpha-Step D-500 探针式轮廓仪支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D 测量。 创新的光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量，大垂直范围和低触力测量功能。
P-17是第八代台式探针轮廓仪。该系统领先业界，支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达200mm而无需图像拼接。
Alpha-Step D-600 探针式轮廓仪能够测量从几纳米到 1200微米的2D和3D台阶高度。D-600 还支持2D和3D的粗糙度测量，以及用于研发和生产环节的2D翘曲度和应力测量。D-600 包含一个带有200 毫米样品载台的电动样品台和具有增强影像控制的高级光学器件。
台阶高度：几纳米至1200μm 低触力：0.03至15mg 视频：500万像素高分辨率彩色摄像头 梯形失真校正：消除侧视光学系统引起的失真 圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差 紧凑尺寸：小占地面积的台式探针式轮廓仪 主要应用 台阶高度：2D台阶高度 纹理：2D粗糙度和波纹度 形式：2D翘曲和形状 应力：2D薄膜应力 应用领域 大学，研究实验室和研究所 半导体和复合半导体 SIMS：二次离子质谱 LED：发光二极管 太阳能 MEMS：微电子机械系统 汽车 医疗设备
营业执照已审核
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沪公网安备 31011502008050号