供应商：优尼康科技有限公司

P-7建立在P-17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。 它保持了P-17的测量性能，并作为台式探针轮廓仪平台提供了性价比。 P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达150mm而无需图像拼接。

供应商：优尼康科技有限公司

P-170是cassette-to-cassette探针式轮廓仪，可提供几纳米至一毫米的台阶高度测量功能，适用于生产环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达200mm而无需图像拼接。 P-170具有先进的图案识别算法、增强的光学系统平台，这保证了性能的稳定和系统间配方的无缝移植- 这是24x7生产环境的关键要求。

供应商：优尼康科技有限公司

该系统结合了UltraLite传感器、恒力控制和超平扫描平台，因而具备出色的测量稳定性。 通过点击式平台控制、顶视和侧视光学系统以及带光学变焦的分辨率相机等功能，程序设置简便快速。 P-17具备用于量化表面形貌的各种滤镜、调平和分析算法，可以支持2D或3D测量。 并通过图案识别、排序和特征检测实现全自动测量。

供应商：优尼康科技有限公司

Alpha-Step D-600探针式轮廓仪支持台阶高度和粗糙度的2D及3D测量，以及翘曲度和应力的2D测量。 光学杠杆传感器技术提供分辨率测量，大垂直范围和低触力测量功能。 探针测量技术的一个优点是它是一种直接测量，与材料特性无关。 可调节的触力以及探针的选择都使其可以对各种结构和材料进行精确测量。 通过测量粗糙度和应力，可以对工艺进行量化，确定添加或去除的材料量，以及结构的任何变化。

供应商：优尼康科技有限公司

Alpha-Step D-500探针式轮廓仪支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D测量。 光学杠杆传感器技术提供分辨率测量，大垂直范围和低触力测量功能。 探针测量技术的一个优点是它是一种直接测量，与材料特性无关。 可调节的触力以及探针的选择都使其可以对各种结构和材料进行精确测量。 通过测量粗糙度和应力，可以对工艺进行量化，确定添加或去除的材料量，以及结构的任何变化。

供应商：上海尔迪仪器科技有限公司

布鲁克DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）是一项创新性的设计，可以提供无与伦比的重现性，重现性低于4A。台阶仪这项性能的提高达到了过去四十年 Dektak 技术创新的顶峰，更加巩固了其行业领先地位。通过整合其行业领先产品，DektakXT实现了最高性能。操作简易，从研发到质量控制都有更好的过程控制。整合了技术突破到第十代 Dektak 台阶仪能够在微电子，半导体，太阳能、超高亮度发光二极管（LED）、医学、材料科学等行业实现纳米级表面形貌测量。DektakXT 利用独特的直接驱动扫描样品台，将测

供应商：优尼康科技有限公司

P-7建立在P-17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。 它保持了P-17的测量性能，并作为台式探针轮廓仪平台提供了性价比。 P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达150mm而无需图像拼接。

供应商：上海爱仪通网络科技有限公司

         德国布鲁克DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）可以提供更高的重复性和分辨率，测量重复性可以到5Å。台阶仪这项性能的到了过去四十年Dektak技术，更加巩固了其行业。不论应用于研发还是产品测量，通过在研究工作中的广泛使用，DektakXT能够做到功能更强大，操作更简易，检测过程和数据采集更完善。第十代DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）的技术，使纳米尺度的表面轮廓测量成为可能，从而可以广泛的应用于微电子器件，半导体，电池，高

供应商：aep Technology中国办事处

仪器简介： 该系统利用扫描探针显微镜光杠杆位移检测技术和超平整参照面-大型样品台扫描技术，并与压电陶瓷（PZT）扫描wan美结合，可以再不丧失精度的情况下，即得到超大样品整体三维轮廓图，又呈现局部三维形貌像。其中样品台扫描参考平面使用超高平坦度光学抛光平台，有效解决了以往样品台扫面，由于丝杠公差引起的测试结果有亚微米量级的误差。 三维表面形貌/轮廓仪主要应用在金属材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各种材料表面的薄膜厚度，台阶高度，二维粗糙度（Ra,Rq

供应商：上海昭沅仪器设备有限公司

KOSAKA LAB ET 150台阶仪设备特点： KOSAKA ET150基于Windows XP操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析，包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石（钻石）接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET150能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。 ET 150配备了各种型号，提供了通过程序控制接触力和垂直范围的探头，彩色CCD原位

供应商：上海恒一精密仪器有限公司

仪器简介：Excellent in accuracy, stability and functionality, ET4000 is a fully automatic, most appropriate for measurement of micro figure, step height and roughness of FPD, wafers, hard disks, and other nano-order application. ET4000 series can be selected f

供应商：深圳市科时达电子科技有限公司

KOSAKA SE 500-59表面粗糙度测定机是一款KOSAKA新推出的经济型便携式台式两用机型。根据您的需求任意组合，并可对多种零件表面的粗糙度，波纹度以及原始轮廓进行多参数评定，是一款带有用控制器的高精度，高性能，表面粗糙度测量仪器，简单操作，显示一目了然。      设备特点 •   显示一目了然，操作简单•   配备高分辨率的超大TFT LCD屏幕，彩色图标显示，触控

供应商：深圳市科时达电子科技有限公司

佳重复性与线性度•   采用直动式检测方式•   可避免圆弧补正误差•   可避免Bearing间隙误差•   台阶测定重复性：1σ 0.2nm以内,但实际可达0.1nm•    Z方向线性度为±0.25% (样品厚度> 2000A);5A (样品厚度≤2000A)   高分辨率• 纵轴高分辨率0.1nm • 横轴高分辨率0.1u

供应商：东莞市广丰计量仪器有限公司

日本三丰表面粗糙度仪SJ-310各的粗度格表示。大型LCD幕窗，易於清晰取。使用控式面板(具抗污性)，操作易。任意度定能。按PRINT即可藉由藏式印表列印出量之果(可不同之列印方式)。藏充池，本方便也可收置出器。有富的：自校正能、理、合否判定能、客自行能判定能。型号SJ-310货号平移范围12.5MM测量范围300um(±150um)驱动／检测元件探测仪:178-390/178-395*测头:金刚石(测头半径:5um/2um*)测量力:4mN/0.75mN*探测方式:微感应评定轮廓P,R,DIN4776

供应商：佰汇兴业（北京）科技有限公司

德国BMT CMM 粗糙度测量系统用于CMM探针的小型的粗糙度测量仪，可大幅度地降低测量成本。 技术参数ISO 3274参考标准系统精确度等级1测量原理针头、测量头参考标准数据来源平板玻璃精确度1 %测量误差0.5 %可测量长度12.5 mm针尖角度90°参数ISO, DIN 13565形貌、弯曲度、粗糙度ISO, DIN 15565核心粗糙度JIS B-0601粗糙度Daimler N 31007R3z过滤器Gauss, M50, M75, VDA2008数据导出USB, QDAS充电在胶卷盒中测量头尺

供应商：佰汇兴业（北京）科技有限公司

德国BMT LMT密封轴导程测量系统 导程结构是密封轴在加工过程中进给方向上产生的微小的类似螺纹的结构。目前只有奔驰公司对此参数进行检测。 导程测量解决的是轴的密封表面问题。次设备对导致漏油的不良导程结构进行测量和检查。 符合Mercedes-Bens MBN 31007-7标准。应用案例● 圆柱型杆轴密封区的检测● 密封性能的检查检测● 密封轴结构的检测和评估产品特点● 专为检测车间地面而设计● 可以检测到最小的铅结构● 纵向的工件夹具，更加节约空间● 工件自动旋转● 电动化的测量头● 自动对测得的数值

供应商：aep Technology中国办事处

台阶仪 厚度47nm 标准样品,三次重复测量结果叠加 (无任何减噪修正，原始数据输出） 500um扫描, 2um探针NanoMap-PS是一款专门为nm级薄膜测量研发的无需防震台即可测量的接触式台阶仪 AFM同款位移传感器，超高精度 压电陶瓷驱动扫描，无内源振动 自集成主动反馈式防震系统 真正无需额外辅助防震系统，实现高重复性纳米测量 纳米量级科学研究的必备产品NanoMap-PS台阶仪可以应用在半导体，光伏/太阳能，光电子，化合物半导体，OLED，生物医药，PCB封装等领域的薄膜厚度，台阶

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台阶仪NanoMap-500LSNanoMap 500LS台阶仪特点 该款台阶仪是常规的接触式轮廓仪和扫描探针显微镜技术的wan美结合 双模式操作（针尖扫描和样品台扫描），即使在长程测量时也可以得到zuiyou化的小区域三维测图 针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式，三维扫描范围从10μm X 10μm 到500μm X 500μm。样品台扫描使用高级别光学参考平台能使长程扫描范围到50mm。 在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样品直接观察 针尖扫描采用双光学传感器，同时拥有宽阔测量动

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台阶仪NanoMap-D是一款兼备了白光干涉非接触式和探针接触式的台阶仪。NanoMap-D三维台阶仪是用于表面结构测量和表面形貌分析的一款测量计量型设备。既可以用于科学研究，也可以用于工业产品的检测。该款仪器可以看做是表面研究的万用表，采用接触式和非接触式功能集于一身的设计特点，弥补两种模式的局限，发挥表面形貌仪的测量极限。光学非接触式有速度快，直接三维成象，不破坏样品等特点。探针接触模式方便快捷，制样简单，测量材料广泛。两种模式相结合可以对更多形状、性状、材质的试样进行表面形貌的研究。台

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台阶仪NanoMap-500LS接触式三维表面台阶仪NanoMap-500LSNanoMap 500LS探针三维台阶仪特点 常规的探针台阶仪和扫描探针显微镜技术的wan美结合 双模式操作（针尖扫描和样品台扫描），即使在长程测量时也可以得到zuiyou化的小区域三维测图 针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式，三维扫描范围从10μm X 10μm 到500μm X 500μm。样品台扫描使用高级别光学参考平台能使长程扫描范围到50mm。 接触式探针台阶仪在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样

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NanoMap-D 台阶仪NanoMap-D三维台阶仪是用于表面结构测量和表面形貌分析的一款测量计量型设备。既可以用于科学研究，也可以用于工业产品的检测。该款仪器可以看做是表面研究的万用表，采用接触式和非接触式功能集于一身的设计特点，弥补两种模式的局限，发挥表面形貌仪的测量极限。光学非接触式有速度快，直接三维成象，不破坏样品等特点。探针接触模式方便快捷，制样简单，测量材料广泛。两种模式相结合可以对更多形状、性状、材质的试样进行表面形貌的研究。台阶仪又名三维表面形貌或轮廓仪主要应用在金属材料、生物材料、聚合

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台阶仪， NanoMap-LS接触式三维表面台阶仪NanoMap-LSNanoMap -LS探针接触式 台阶仪特点探针台阶仪是利用探针扫描样品表面，仪器记录探针随样品表面高低起伏状态，整合数据得到台阶高度，表面形貌，沟槽深度等特征。双模式操作（针尖扫描和样品台扫描），即使在长程测量时也可以得到zuiyou化的小区域三维测图针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式，三维扫描范围从150mm X 150m 。样品台扫描使用高级别光学参考平台能使长程扫描范围到50mm。接触式探针台阶仪在扫描过程中结合彩色光学

供应商：aep Technology中国办事处

台阶仪， NanoMap-LS 接触式三维表面台阶仪NanoMap-LS 探针接触式 台阶仪特点：探针台阶仪是利用探针扫描样品表面，仪器记录探针随样品表面高低起伏状态，整合数据得到台阶高度，表面形貌，沟槽深度等特征。双模式操作（针尖扫描和样品台扫描)针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式，三维扫描范围从150mm X 150m样品台扫描扫描范围到100mm纳米级抛光光学参考平晶实时彩色光学照相机直接观测双光学传感器 纵向测量范围最大至1000um，最小到分辨率0.1nm恒定微力接触 最小0.03mg简

供应商：南京冉锐科技有限公司

美国Rtec台阶仪特点：一台设备上集成非接触式白光干涉形貌仪+高精度原子力显微镜白光干涉白光干涉能够进行高分辨率图像的扫描，对表面进行分析。两种工作模式-相移和白光扫描模式,能够高精度测量粗糙或者光滑的样品表面。 **的技术来实现高Z向分辨率 白光干涉法和相移两种模式实现Z方向的高分辨率。 快速图像处理系统达到400万像素 四色LED相机 更大的垂直测量范围达10毫米 150 mmx150mm马达控制平台。 样品粗糙度，粗糙表面高度抛光后的光洁度以及表面结构测量，如陶瓷、塑料和辊钢。 SPIP专业数据分析

供应商：南京冉锐科技有限公司

美国Rtec双模式台阶仪特点：一台设备上集成非接触式白光干涉形貌仪+高精度原子力显微镜白光干涉白光干涉能够进行高分辨率图像的扫描，对表面进行分析。两种工作模式-相移和白光扫描模式,能够高精度测量粗糙或者光滑的样品表面。 **的技术来实现高Z向分辨率 白光干涉法和相移两种模式实现Z方向的高分辨率。 快速图像处理系统达到400万像素 四色LED相机 更大的垂直测量范围达10毫米 150 mmx150mm马达控制平台。 样品粗糙度，粗糙表面高度抛光后的光洁度以及表面结构测量，如陶瓷、塑料和辊钢。 SPIP专业数

供应商：北京德华振峡科技有限公司

采用经特殊处理的铝和花岗岩材质， EK130气浮旋转台采用空气静压轴承设计，LT气浮转台满足同心轴向径向操作的最高要求， LT公司的气浮旋转台规格： 标准直径60毫米，100毫米或150毫米气浮转台内孔可选。转台利用水冷却设计，使各款气浮旋转台不仅耐用，而且具有热稳定性。 EK130气浮旋转台可通过一个高转速（> 150转）和低于0.1弧秒的精度结合实现超精密测量。这些测量单元的应用领域通常涉及内，外直径测量，而且作为一个超精密机床附加旋转轴。工件可以精确地固定到

供应商：北京丹贝尔仪器有限公司

仪器简介：JohnParker’s博士发明的测试 方法，PPS采用微处理机控制， 可以快速，准确测试出纸张在 印刷过程各种条件下的表面粗糙度。 试样夹在高灵敏度测试头和特殊设 计的背衬组件之间。测试气流通过 纸张表面阻力直接由内部计算成粗糙度以微米为结果单位显示。 zuixin型的设备扩展了夹样压力范围和测试能力，双面同时测试提高了功效。大容量信息的提供为我们节约了时间，**的模拟了印刷过程，节约了印刷成本。 技

供应商：深圳市今浩仪器设备有限公司

HRP®-260是一款高分辨率cassette-to-cassette探针式轮廓仪，可提供几纳米至300微米的台阶高度测量功能。 P-260配置支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D及3D测量，其扫描可达200mm而无需图像拼接。 HRP-260配置的功能与P-260相同，并增加了可以生产类似AFM扫描结果的高分辨率平台。 HRP平台具有先进的图案识别算法，可增强系统间程序的移植，这是24x7生产环境的关键要求。

供应商：深圳市今浩仪器设备有限公司

Tencor P-170是cassette-to-cassette探针式轮廓仪，可提供几纳米至一毫米的台阶高度测量功能，适用于生产环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达200mm而无需图像拼接。 Tencor P-170具有先进的图案识别算法、增强的光学系统和先进的平台，这保证了性能的稳定和系统间配方的无缝移植- 这是24x7生产环境的关键要求

供应商：深圳市今浩仪器设备有限公司

Tencor P-17支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量，适用于生产和研发环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达200mm而无需图像拼接。

供应商：深圳市今浩仪器设备有限公司

Tencor P-7支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量，适用于生产和研发环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达150mm而无需图像拼接。

供应商：深圳市今浩仪器设备有限公司

Alpha-Step D-600 探针式轮廓仪能够测量从几纳米到 1200微米的2D和3D台阶高度。D-600 还支持2D和3D的粗糙度测量，以及用于研发和生产环节的2D翘曲度和应力测量。D-600 包含一个带有200 毫米样品载台的电动样品台和具有增强影像控制的高级光学器件。

供应商：深圳市今浩仪器设备有限公司

Alpha-Step D-500探针式轮廓仪支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D测量。 创新的光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量，大垂直范围和低触力测量功能。 探针测量技术的一个优点是它是一种直接测量，与材料特性无关。 可调节的触力以及探针的选择都使其可以对各种结构和材料进行精确测量。 通过测量粗糙度和应力，可以对工艺进行量化，确定添加或去除的材料量，以及结构的任何变化。

供应商：东莞市长安欧准特精密机械经营部

半导体使用布鲁克Bruker 探针式台阶仪,外观设计独特，成色新，使用范围广泛，高精度，纳米级检测仪。

供应商：北京中海远创材料科技有限公司

台阶高度：几纳米至1200μm 低触力：0.03至15mg 视频：500万像素高分辨率彩色摄像头 梯形失真校正：消除侧视光学系统引起的失真 圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差 紧凑尺寸：小占地面积的台式探针式轮廓仪 主要应用 台阶高度：2D台阶高度 纹理：2D粗糙度和波纹度 形式：2D翘曲和形状 应力：2D薄膜应力 应用领域 大学，研究实验室和研究所 半导体和复合半导体 SIMS：二次离子质谱 LED：发光二极管 太阳能 MEMS：微电子机械系统 汽车 医疗设备

供应商：广州领拓仪器科技有限公司

布鲁克 DektakXT 台阶仪（探针式表面轮廓仪）是一项创新性的设计，可以提供更高的重复性和分辨率，测量重复性可以达到5?。台阶仪这项性能的提高达到了过去四十年Dektak技术创新的顶峰，更加巩固了其行业领xian地位。不论应用于研发还是产品测量，通过在研究工作中的广泛使用，DektakXT一定能够做到功能更强大，操作更简易，检测过程和数据采集更完善。第十代DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）的技术突破，使纳米尺度的表面轮廓测量成为可能，从而可以广泛的应用于微电子器件，半导体，电池，高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。