KOSAKA接触式台阶仪ET150
Bruker - 光学轮廓仪/台阶仪/FTIR
轮廓仪/台阶仪 P170 全自动晶圆探针式轮廓仪/台阶仪
探针式轮廓仪/台阶仪Tencor P7 /P17
探针式轮廓仪/台阶仪Alpha-Step D500 /D600
台阶仪 D600 高精度探针式轮廓仪/台阶仪
KOSAKA LAB ET 150台阶仪
设备特点：
KOSAKA ET150基于Windows XP操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析，包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石（钻石）接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET150能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。
ET 150配备了各种型号，提供了通过程序控制接触力和垂直范围的探头，彩色CCD原位采集设计，可直接观察到工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。
规格
一、定工件：
1. 最大工件尺寸：φ160mm
2. 最大工件厚：50mm
3. 最大工件重量：2kg
二、出器（pick up）：
1. Z方向定：Max. 600μm
2. Z方向分解能：0.1nm
3. 定：min.1mgf,max.50mg
4. 半：2 μm
5. 方式：直式
6. 再性：1σ= 1nm
三、X (基)：
1. 移动量(最大)：100mm
2. 移的真直：0.2μm/100mm
3. 移,定速：0.02 ~ 10mm/s
4. 性尺(linar scale)：分解能 0.1μm
四、Z：
1. 移动量：50mm
2. 移速度：max.2mm/S
3. 出器自停止能
4. 位置定分解能：0.2μm
五、工件台：
1. 工件台尺寸：160mm
2. 械手倾斜： 1mm/150mm
六、工件察：max.110 倍(可其它高倍CCD)
七、床台：材花岩石
八、防振台()：地型或桌上型
九、源：AC100V±10%, 50/60HZ, 300VA
十、本外尺寸及重量： W494mm;D458mm;H610mm, 120kg (含防震台)
上传人：上海昭沅仪器设备有限公司
大小：0 B
1458
报价：面议
已咨询4849次轮廓仪/台阶仪
报价：面议
已咨询2554次
报价：面议
已咨询3463次
报价：面议
已咨询2939次轮廓仪/台阶仪
报价：面议
已咨询318次台阶仪
报价：面议
已咨询327次台阶仪
报价：面议
已咨询652次激光设备
报价：面议
已咨询603次激光设备
P-7建立在市场领先的P-17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。 它保持了P-17技术的测量性能，并作为台式探针轮廓仪平台提供了好的性价比。
KLA先进的探针式台阶仪Alpha-Step D-600，可测量纳米级至1200um台阶高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波纹度、应力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%台阶高度重复性以及亚埃级的分辨率
Alpha-Step D-300 探针式轮廓仪支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D 测量。光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量，大垂直范围和低触力测量功能。
Alpha-Step D-500 探针式轮廓仪支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D 测量。 创新的光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量，大垂直范围和低触力测量功能。
P-17是第八代台式探针轮廓仪。该系统领先业界，支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达200mm而无需图像拼接。
Alpha-Step D-600 探针式轮廓仪能够测量从几纳米到 1200微米的2D和3D台阶高度。D-600 还支持2D和3D的粗糙度测量，以及用于研发和生产环节的2D翘曲度和应力测量。D-600 包含一个带有200 毫米样品载台的电动样品台和具有增强影像控制的高级光学器件。
台阶高度：几纳米至1200μm 低触力：0.03至15mg 视频：500万像素高分辨率彩色摄像头 梯形失真校正：消除侧视光学系统引起的失真 圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差 紧凑尺寸：小占地面积的台式探针式轮廓仪 主要应用 台阶高度：2D台阶高度 纹理：2D粗糙度和波纹度 形式：2D翘曲和形状 应力：2D薄膜应力 应用领域 大学，研究实验室和研究所 半导体和复合半导体 SIMS：二次离子质谱 LED：发光二极管 太阳能 MEMS：微电子机械系统 汽车 医疗设备
营业执照未审核
分享
收藏
沪公网安备 31011502008050号