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Kosaka 6寸台阶仪 ET200A

联系方式:林建军0755-29852340

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详细介绍

佳重复性与线性度

•   采用直动式检测方式

•   可避免圆弧补正误差

•   可避免Bearing间隙误差

•   台阶测定重复性:1σ 0.2nm以内,但实际可达0.1nm

•    Z方向线性度为±0.25% (样品厚度> 2000A);5A (样品厚度≤2000A)

 

 

 

高分辨率

• 纵轴高分辨率0.1nm

 

• 横轴高分辨率0.1um

 

• X测定速度可调:5μm~2mm/s

 

低测定力

 

• 测定力在 10 ~ 500uN、 1~50mgf 可任意设定

 

• 可测定软质材料面,如︰COLOR FILTER、SPACER、PI…等

 

 

真直度保证-1

 

 

 

 


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