KLA高精度台阶仪Alpha-Step D-600

Alpha-Step高精度台阶仪/轮廓仪D-600 包括一个 200 毫米电动载物台，具有 150 x 178 毫米 X-Y 运动范围。 新的测序软件具有手动纠偏对齐和对样本多达 1000 个位置的编程功能。 该系统具有先进的光学元件、具有 4 倍数码变焦的高分辨率 500万像素相机和增强的视频控制功能，可实现高度通用的样品可视化。

一、功能  

设备特点  

电动载物台  

台阶高度：几纳米至1200μm  

低触力：0.03至15mg  

视频：500万像素高分辨率彩色摄像头  

梯形失真校正：消除侧视光学系统引起的失真  

圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差  

紧凑尺寸：小占地面积的台式探针式轮廓仪  

软件：用户友好的软件界面  

主要应用  

台阶高度：2D台阶高度和3D台阶高度  

纹理：2D粗糙度和波纹度  

形式：2D翘曲和形状  

应力：2D薄膜应力  

应用领域  

大学，研究实验室和研究所  

半导体和复合半导体  

SIMS：二次离子质谱  

LED：发光二极管  

太阳能  

MEMS：微电子机械系统  

汽车  

医疗设备  

二、应用  

台阶高度  

Alpha-StepD-600探针式轮廓仪能够测量从几个纳米到1200μm的2D和3D台阶高度。这使其可以量化在蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP和其他工艺期间沉积或去除的材料。Alpha-Step系列具有低触力功能，可以测量如光刻胶的软性材料。

3D 扫描和 2D 应力（可选配功能）

Alpha-Step高精度台阶仪/轮廓仪3D 扫描产生照片般逼真的表面，可对台阶高度、纹理和样品形状进行详细的表面形貌分析。 2D 应力利用 Stoney 方程和样品弓在处理前后的变化来计算薄膜应力。

复杂表面的3D扫描

纹理：粗糙度和波纹度

Alpha-Step D-600测量2D和3D纹理，量化样品的粗糙度和波纹度。 软件过滤功能将测量值分离为粗糙度和波纹度的部分，并计算诸如均方根（RMS）粗糙度之类的参数。

外形：翘曲和形状

Alpha-Step D-600可以测量表面的2D形状或翘曲。这包括对晶圆翘曲的测量，例如在半导体或化合物半导体器件生产过程中，多层沉积层结构中层间不匹配是导致这类翘曲产生的原因。 Alpha-Step还可以量化包括透镜在内的结构高度和曲率半径。

应力：2D薄膜应力

Alpha-Step D-600能够测量在生产包含多个工艺层的半导体或化合物半导体器件期间所产生的应力。使用应力卡盘将样品支撑在中性位置精确测量样品翘曲。 然后通过应用Stoney方程，利用诸如薄膜沉积工艺的形状变化来计算应力。