全自动 台阶仪
探针式轮廓仪/三维形貌仪
Bruker - 光学轮廓仪/台阶仪/FTIR
光学探针双模式轮廓仪/三维形貌仪
台阶仪 D600 高精度探针式轮廓仪/台阶仪
轮廓仪/台阶仪 P170 全自动晶圆探针式轮廓仪/台阶仪
台阶仪，
NanoMap-LS 接触式三维表面台阶仪
NanoMap-LS 探针接触式 台阶仪
特点：
探针台阶仪是利用探针扫描样品表面，仪器记录探针随样品表面高低起伏状态，整合数据得到台阶高度，表面形貌，沟槽深度等特征。
双模式操作（针尖扫描和样品台扫描)
针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式，
三维扫描范围从150mm X 150m
样品台扫描扫描范围到100mm
纳米级抛光光学参考平晶
实时彩色光学照相机直接观测
双光学传感器 纵向测量范围最大至1000um，最小到分辨率0.1nm
恒定微力接触 最小0.03mg
简单友好的人机操作界面
应用
台阶仪主要应用在金属材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各种材料表面的薄膜厚度，台阶高度，二维粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），三维粗糙度（Sa,Sq,Smax），划痕截面面积，划痕体积，磨损面积，磨损体积，磨损深度，薄膜应力（曲定量率半径法）等定量测量。摆脱了以往只能得到二维信息，或三维信息过于粗糙的现状。
三维表面轮廓测量和粗糙度测量，即适用于精密抛光的光学表面也可适用于质地粗糙的机加工零件。
薄膜和厚膜的台阶高度测量
划痕形貌，磨损深度、宽度和体积定量测量
空间分析和表面纹理表征
平面度和曲率测量
二维薄膜应力测量
微电子表面分析和MEMS表征
表面质量和缺陷检测
环境要求
湿度：10-80%， 相对湿度，无冷凝
温度：65-85 华氏度（△T＜1度/小时）
电源要求：110/240V，50/60 Hz
关键词：台阶仪、形貌仪、磨损体积测量仪、台阶仪、薄膜测厚仪、三维表面台阶仪、三维台阶仪、白光干涉仪、三维台阶仪、三维薄膜分析仪、三维形貌仪、三维粗糙度仪、表面台阶仪、
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P-7建立在市场领先的P-17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。 它保持了P-17技术的测量性能，并作为台式探针轮廓仪平台提供了好的性价比。
KLA先进的探针式台阶仪Alpha-Step D-600，可测量纳米级至1200um台阶高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波纹度、应力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%台阶高度重复性以及亚埃级的分辨率
Alpha-Step D-300 探针式轮廓仪支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D 测量。光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量，大垂直范围和低触力测量功能。
Alpha-Step D-500 探针式轮廓仪支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D 测量。 创新的光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量，大垂直范围和低触力测量功能。
P-17是第八代台式探针轮廓仪。该系统领先业界，支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达200mm而无需图像拼接。
Alpha-Step D-600 探针式轮廓仪能够测量从几纳米到 1200微米的2D和3D台阶高度。D-600 还支持2D和3D的粗糙度测量，以及用于研发和生产环节的2D翘曲度和应力测量。D-600 包含一个带有200 毫米样品载台的电动样品台和具有增强影像控制的高级光学器件。
台阶高度：几纳米至1200μm 低触力：0.03至15mg 视频：500万像素高分辨率彩色摄像头 梯形失真校正：消除侧视光学系统引起的失真 圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差 紧凑尺寸：小占地面积的台式探针式轮廓仪 主要应用 台阶高度：2D台阶高度 纹理：2D粗糙度和波纹度 形式：2D翘曲和形状 应力：2D薄膜应力 应用领域 大学，研究实验室和研究所 半导体和复合半导体 SIMS：二次离子质谱 LED：发光二极管 太阳能 MEMS：微电子机械系统 汽车 医疗设备
营业执照未审核
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