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仪器网>产品中心> 实验室常用设备>混合/分散设备>涡旋混合器/旋涡混合器>匀胶旋涂仪 LaurellWS-650

匀胶旋涂仪 LaurellWS-650

面议 (具体成交价以合同协议为准)
Laurell WS-650 美洲 美国 2026-04-23 15:56:32
售全国 入驻:2年 等级:银牌 营业执照已审核
同款产品:旋涂仪(1件)
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产品详情:

在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使胶液均匀涂覆在基片上,旋转速度及时间、胶液和基片间的粘滞系数都会影响成膜厚度,旋转过程及转动系统的稳定性对成膜质量也有较大影响。

 

 QQ图片20250408152416.png

※ 样品尺寸:φ3~300mm

※ 加速度:80000rpm/s(空载),30000rpm/s(负载:100mm标准晶圆)

※ 转速:1~12000rpm,伺服电机分辨率4000P/rev

※ 旋转方向:选配Hz型马达,旋转方向双向可调

※ CDA/N2气流保护技术

※ 可选自动滴胶模块,EBR晶圆去边模块

※ 多种托盘可选,适用各种材质的样品

 

托盘解决方案

﹢  常用真空托盘:10~150mm无需更换

﹢  嵌入式:托盘中部做成圆形凹槽,样品可嵌入其中,以避免样品厚度过大引起气体涡流效应

﹢  蜂窝式:适用于超薄易变形软质材料和易碎材料

﹢  卡式托盘:适用于无法真空吸附的样品,或者两面都需要处理的样品,因为固定时需要尽量减小与托盘的接触面积,也可以使用卡式托盘,卡式托盘使用时转速不宜过高

 

QQ截图20250408152522.png



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