TopMap Micro.View 白光干涉仪（3D形貌仪）

TopMap MicroView系列 白光干涉仪

Polytec GmbH提供完整的光学表面计量解决方案，用于工程表面质量检测和形状评估 - 无论是数控加工精密零件的平面度或台阶高度、光滑光学元件的翘曲和形状，还是纹理、光洁度或 MEMS 和微结构分析。

TopMap MicroView系列白光干涉仪采用非接触式测量，保证测量的精确性和可重复性。 超大的垂直范围和高 Z 分辨率，以及令人印象深刻的视场角 (FOV)，甚至允许多样品测量，都将使您受益匪浅。 无论是对大型样品进行快速扫描，还是以亚纳米分辨率对纹理和粗糙度进行全面分析，TopMap轮廓仪都是您的理想选择！

我们制造非常可靠的白光干涉仪，并提供应用服务和专业知识、4 年保修和终身免费软件更新。

TopMap MicroView系列光学3D轮廓仪是一款功能强大的非接触式表面轮廓测量仪器，基于白光干涉原理，以非常前沿的CSI与Corelogram相结合的CST技术为核心，是新一代光学3D轮廓仪。

TopMap Micro.View®是一种易于使用的光学轮廓仪，采用紧凑型台式安装。 选择 Micro.View® 作为高性价比的检测工具，可检查精度达到亚纳米范围的精密工程表面，检测粗糙度、微结构和更多表面细节。 0.6x 至 111x 的定制物镜和载物台选项可根据具体应用进行微调。

TopMap MicroView系列光学3D轮廓仪拥有了无与伦比的测量能力，能够满足从超光滑到粗糙表面、从极深色、超低反射率到全反射表面等几乎所有表面轮廓的测量，并且在所有倍率物镜下都能提供亚纳米级测量精度，此外，TMS软件还能够提供基于ISO25178/1101/4287/13565/21920/12781和ASME B46等标准的多种参数分析与评价，例如，粗糙度、平面度、台阶高度、微观几何轮廓、波纹度等。

白光干涉仪典型的应用：

● 精密加工：粗糙度，微观结构，加工机理分析

● 光学元件制造：粗糙度，面型轮廓

● 半导体：晶圆磨抛，IC制造，微型器件

● 表面工程：摩擦学，涂层，缺陷，变形

● 3C电子：屏幕粗糙度，壳体表面质量

● 生物医疗：植入物粗糙度、轮廓

● 材料科学：材料结构、颜色

白光干涉仪的亮点：

● 亚纳米级分辨率

● 前沿CSI与Corelogram相结合的CST连续扫描技术

● 行程100mm定位和扫描一体技术

● 自动寻焦器与焦面智能跟踪功能

● 手动/电动程控物镜塔台

● 基于RGB光源的颜色与3D数据融合技术

● ECT环境补偿技术

● QC质量控制软件模块

● 模块化设计便于在线方案集成

规格表：

1. According to Rayleigh criterion, related to a central wavelength of 525 nm

2.Z correlogram algorithm sensitivity, smallest vertical detail shown in digital data

3. Surface and objective dependent

4. Limited by working distance of objective

5. Depends on size of area of interest (AOI) and sampling increment. Given value for reduced AOI and 327 nm sampling increment