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纳米尺度3D光学干涉测量系统 VS1800
- 品牌:日本日立
- 型号: VS1800
- 产地:日本
- 供应商报价: 面议
- 日立科学仪器(北京)有限公司 更新时间:2024-02-26 14:29:54
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企业性质生产商
入驻年限第7年
营业执照已审核
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- 详细介绍
纳米尺度3D光学干涉测量系统VS1800应用光干涉现象,对微细的表面形貌进行测量,可实现高性能薄膜、半导体、汽车零配件、显示器等行业所要求的高精度测量。而且还能以无损伤方式进行多层膜的层结构以及层内部的异物测量。
主要特点:
采用光干涉方式,非接触测量
3D测量支持线粗糙度和面粗糙度测量
自动粗糙度参数选择(ISO25178)
毫米大面积测量
高精度测量(垂直方向分辨率0.01nm)
快速、高重复性测量
多层薄膜和薄膜内层缺陷分析
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