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纳米尺度3D光学干涉测量系统 VS1800
- 品牌：日本日立
- 型号： VS1800
- 产地：日本
- 供应商报价： 面议
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天美（中国）科学仪器有限公司
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企业性质授权代理商
入驻年限第4年
营业执照已审核
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- 详细介绍
纳米尺度3D光学干涉测量系统VS1800应用光干涉现象，对微细的表面形貌进行测量，可实现高性能薄膜、半导体、汽车零配件、显示器等行业所要求的高精度测量。而且还能以无损伤方式进行多层膜的层结构以及层内部的异物测量。
主要特点：
采用光干涉方式，非接触测量
3D测量支持线粗糙度和面粗糙度测量
自动粗糙度参数选择（ISO25178）
毫米级大面积测量
高精度测量（垂直方向分辨率0.01nm）
快速、高重复性测量
多层薄膜和薄膜内层缺陷分析
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