-
-
-
纳米尺度3D光学干涉测量系统 VS1800
- 品牌：日立
- 型号： VS1800
- 产地：亚洲 日本
- 供应商报价：面议
-
日立科学仪器（北京）有限公司
更新时间：2025-04-07 13:37:59 -
销售范围售全国
入驻年限第10年
营业执照已审核
- 同类产品光学测量(0件)
立即扫码咨询
联系方式：400-855-8699转8089
联系我们时请说明在仪器网（www.yiqi.com）上看到的!
扫 码 分 享
详细介绍
纳米尺度3D光学干涉测量系统VS1800应用光干涉现象，对微细的表面形貌进行测量，可实现高性能薄膜、半导体、汽车零配件、显示器等行业所要求的高精度测量。而且还能以无损伤方式进行多层膜的层结构以及层内部的异物测量。
主要特点：
采用光干涉方式，非接触测量
3D测量支持线粗糙度和面粗糙度测量
自动粗糙度参数选择（ISO25178）
毫米大面积测量
高精度测量（垂直方向分辨率0.01nm）
快速、高重复性测量
多层薄膜和薄膜内层缺陷分析
沪公网安备 31011502008050号