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平面靶材在真空镀膜中怎么冷却

囧了个囧的囧 2016-07-20 14:33:00 366  浏览
  •  

参与评论

全部评论(2条)

  • HUANGXUBOmei 2016-07-21 00:00:00
    间接式水冷

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  • 二和如何 2016-07-22 00:00:00
    用铝做个带水冷却的装置,再把平面靶固定在上面起到冷却作用

    赞(15)

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