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磁控溅射镀膜机的靶材怎么起弧

137801444 2012-05-18 18:15:28 416  浏览
  •  

参与评论

全部评论(1条)

  • 二和如何 2012-05-19 00:00:00
    新靶先装好,正负极要开路状态。可以用兆欧表测,表针摇到中间位置OK了,靶电源线要接好,当然你也可以用万用表量,检查靶的水路,进出水OK,真空度到达1。0-2PA后开始充氩气,等压强到2。0~3。0-1PA时,点靶就能起弧了。可以小电流轰靶了,慢慢加,靶如果跳的话,电流小一点,轰靶根据靶材的不同,轰的时间不一样,一般易氧化的靶,轰久点,有什么不清楚可以问我

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