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怎样用Fe2O3为靶材磁控溅射Fe3O4薄膜

华山我的电 2017-12-18 17:28:42 404  浏览
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参与评论

全部评论(1条)

  • 季仁军 2017-12-19 00:00:00
    四氧化三铁有磁性,作为靶材磁场难从后面透出来,溅射率太低~

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