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- 944979787 2017-03-03 00:00:00
- 并且气体被驱出的电子被电场加速，连续不断。此时离子也被加速。 你这个多弧离子镀膜机；非导电靶材，形成恒定的电离电流，气体被击穿，发射电子轰击气体分子，将靶材中的原子驱除出表面，继续电离其他气体分子，一般是阴极加负高压，使之电离，而不是电子加速撞击，可能还需要直流电弧电源或脉冲电弧电源 偏压电源其实就是在阴极和样品所在位置的阳极之间形成偏压电场，使用脉冲偏压电源，使用直流偏压电源，形成雪崩效应。 电弧电源有点类似日光灯启辉器和镇流器，靠电弧加热电离气体形成等离子体，轰击靶材，并沉积在样品表面。阴极表面的自由电子在电场作用下定向加速发射， 对于导电靶材离子镀膜其实是离子溅射镀膜
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