求磁控溅射和多弧离子镀膜的资料和文摘

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  jing6340 2008-06-25 00:00:00

  不知

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  呆瓜呱 2008-06-25 00:00:00

  1.磁控溅射镀膜技术由于其显著的特点已经得到广泛的应用。但是常规磁控溅射靶表面横向磁场紧紧地束缚带电粒子，使得一镀膜区域的离子密度很低，一定程度上削弱了等离子体膜的优势。通过有意识地增强或削弱其中一个磁极的磁通量。使得磁控溅射靶的磁场不平衡，可以大大提高镀区域的等离子体密度，从而改善镀膜质量，此外还讨论该技术目前的发展状况。 2.多弧离子镀膜 请查看 http://www.swip.ac.cn/yykf/1-1.htm

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