氦质谱检漏仪的氦质谱检漏方法

       热电堆是一种热释红外线传感器，它是由热电偶构成的一种器件。它在耳式体温计、放射温度计、电烤炉、食品温度检测等领域中，作为温度检测器件获得了广泛的应用。热电堆是基于赛贝克效应机理，两种具有不同塞贝克系数的材料相互串接构建的闭环回路(即一对热电偶)，两串接处中温度较高的一端通常被称作“热结”，较低的一端被称作“冷结”，材料中载流子沿着温度梯度降低的方向移动，引起电荷积累在冷结处，此时回路中便有热电势产生。

       红外(IR)传感器主要采用TO封装，其广泛应用在电子体温计上，将人体辐射的红外线转换为电信号的变化，从而显示出人体温度。相比传统水银温度计，电子体温计具有更安全，读数直观，时间短，精度高等优点。做为封装型器件，芯片的封装气密性直接影响到IR传感器的精度和灵敏性，因此生产时对其进行氦质谱检漏非常有必要，基本都是采用背压法进行检漏，该检漏方法简单可靠。即将IR传感器置于一定压力的容器中，通入氦气进行压氦，保压一定时间取出器件，转入一个连接在氦检仪上真空容器中（检漏罐）进行检漏，通过自动检测判定IR传感器是否达到封装气密性指标要求。

       歌博科技多年来一直专注于检漏行业，上图所示为歌博检漏仪在检测热电堆传感器的气密性。随着新冠肺炎疫情的爆发，红外测温仪需求激增，歌博科技积极投身抗击疫情工作中，克服重重困难紧急复工，火速给客户提供检漏解决方案。

       安徽歌博科技氦质谱检漏仪凭借便捷的操控，zhuo越的性能, 以及高灵敏超稳定等优点被业内工程人员广泛认可，产品值得信赖。

       板式热交换器是一种广泛应用的新型，GX，紧凑的热交换器，一般由传热板片、密封垫片、压紧装置三个主要部件组成。其结构由一系列相互平行，具有波纹表面的薄金属板片相叠而成。许多冲压有波纹薄板按一定间隔，四周通过垫片密封，并用框架和压紧螺旋重叠压紧，板片和垫片的四个角孔形成了流体的分配管和汇集管，同时又合理的将冷热流体分开，使其分别在每个板片的两侧的流道中流动，通过板片进行热交换。板式换热器具有换热效率高，热损失小，结构紧凑轻巧、占地面积小、安装清洗方便、使用寿命长等优点。

       外漏主要是渗漏，主要部位为板片和板片之间的密封处、板片二道密封泄漏槽部位以及端部板片与压紧板内侧密封处。

      串液主要为压力高的一侧的介质串入压力较低一侧的介质中，系统会出现压力和温度的异常。如果介质具有腐蚀性，还可能导致回路中其他设备的腐蚀。串液通常发生在导流区域或者二道密封区域。

       为了避免外漏的发生，需要对板片和板片的密封处、板片二道密封泄漏槽部位以及端部板片与压紧板内侧密封处进行氦质谱检漏。

       为了避免串液故障发生，需要对导流区域和二道密封区域进行氦质谱检漏。

       采用真空法进行检漏时，采用水环泵、旋片泵、不锈钢波纹管、球阀、节流阀组建真空系统。首先使用水环泵抽真空，然后充入氮气，再次使用水环泵抽真空，反复几次对换热器内部抽出水蒸气和粉尘。使用工业吸尘器对换热器外表面除尘和干燥。使用旋片泵抽真空和氮气置换的方式对换热器内部进一步干燥。干燥后在管热管抽真空后，在可疑的漏点喷氦气，观察氦检仪显示情况。对漏点进行堵漏。

       氧化锌避雷器是七十年代发展起来的一种新型避雷器，它主要由氧化锌压敏电阻构成。每一块压敏电阻从制成时就有它的一定开关电压（叫压敏电压），在正常的工作电压下（即小于压敏电压）压敏电阻值很大，相当于绝缘状态，但在冲击电压作用下（大于压敏电压），压敏电阻呈低值被击穿，相当于短路状态。然而压敏电阻被击后，是可以恢复绝缘状态的；当高于压敏电压的电压撤销后，它又恢复了高阻状态。

       氧化锌避雷器，是根据电压高低要求，采用不同截面积、不同厚度和不同数量的氧化锌压敏电阻片，装在瓷套中，充入氮气后密封。如果泄漏造成内外没有压差，外部潮湿气体有可能进入，而破坏氧化锌压敏电阻片的导电特性，造成损坏爆炸。因此氧化锌避雷器的密封检漏工作很重要。根据GB11032-2000交流无间隙金属氧化物避雷器 标准规定，高压氧化锌避雷器的泄漏指标要求是6.65*10-8Pa*m3/s，这个要求决定了氧化锌避雷器的密封泄漏测试必须采用氦质谱检漏仪来检漏。

       通常情况，氧化锌避雷器的氦检漏采用负压喷氦的方法，即使用真空泵对氧化锌避雷器内部腔体抽成一定真空，然后用喷枪对表面疑似有漏的位置喷氦，如果泄漏不合格，氦检仪就会声光报警，提示产品泄漏指标不合格。总的来说，氦质谱检漏的负压方法应用起来操作简单，响应灵敏，而且检测精度Z高，完全能满足氧化锌避雷器的密封泄漏检测需求。

       上图即为安徽歌博科技有限公司在东北某氧化锌避雷器测试厂家检测过的产品，通过与传统水检及打气保压的方法检漏对比，歌博品牌的氦质谱检漏仪不仅快速响应，还能jing准检测漏点位置。

氦质谱检漏仪作为高精度气体泄漏检测的核心设备，凭借其卓越的灵敏度和可靠性，广泛应用于航空航天、电子制造、能源动力等领域。其核心原理基于质谱学技术，通过氦气示踪与离子分离机制实现微小漏点的精准定位。本文将从工作原理、检漏方法、操作流程、应用场景及维护要点等多维度，系统解析该技术的科学内涵与工程实践价值。

氦质谱检漏仪的核心工作原理涉及离子化与磁场分离过程。灯丝发射的电子在电离室内与氦气碰撞，生成带正电的氦离子。这些离子在加速电场作用下进入均匀磁场，由于洛伦兹力作用，不同质荷比的离子沿不同半径的圆弧轨迹运动。通过调节加速电压，仅氦离子能通过出口狭缝到达收集器，形成可检测的离子流信号。逆扩散检漏技术进一步优化了检测条件，利用分子泵对不同气体的压缩比差异，使氦气逆流进入质谱室，显著提升高压容器检漏效率并延长灯丝寿命。

在具体检漏方法中，吸枪法、钟罩法和背压法构成三大主流技术。吸枪法通过移动式探头采集泄漏氦气，适用于复杂结构的局部检测；钟罩法则通过密封罩覆盖被测件，测量整体漏率；背压法则对预充氦气的工件进行真空抽吸，适用于微型器件的批量检测。操作流程通常包括设备连接、真空建立、氦气喷施及信号分析四个阶段。以SFJ-231型仪器为例，其标准化流程涵盖粗真空预抽（2000-200Pa）、中真空精抽（200-40Pa）和精检模式切换，配合阀门系统实现不同灵敏度档位的无缝转换。

技术性能方面，现代氦质谱检漏仪的灵敏度可达10^-13 Pa·m³/s量级，检测范围横跨10^-2至10^-13 Pa·m³/s，响应时间小于0.3秒。这种卓越性能使其在航空航天发动机密封检测、半导体封装气密性验证、核反应堆压力容器监控等场景中不可替代。例如，在火箭箭体检测中，氦罩法与累积法的结合使检漏灵敏度提升三个数量级，有效预防推进剂泄漏事故。

设备维护保养是保障长期稳定运行的关键。日常维护需重点关注机械泵油位监测（每500小时更换）、分子泵轴承润滑（年度保养）、质谱室污染清洁（视使用频率）等环节。校准环节强调标准漏孔的应用，通过定期对比实测值与理论值，确保检测精度偏差小于5%。此外，氦气供给系统的密封性检查与过滤器更换，可有效避免交叉污染导致的误报。

相较于传统检漏技术，氦质谱法的优势显著。气泡法灵敏度仅达10^-5 Pa·m³/s，而压力衰减法受温度波动影响严重。红外与超声波检漏虽具非接触优势，但无法识别微小漏点及混合气体泄漏。氦质谱技术独有的选择性识别能力，使其在10^-12 Pa·m³/s级检测中保持>95%的准确率，且不受背景气体干扰，这在多组分工业环境中尤为重要。

随着智能制造升级，氦质谱检漏技术正向智能化、集成化方向发展。自动氦峰扫描、多通道并行检测、物联网数据互联等创新功能，正推动该技术从单一检测工具向智能制造质量控制节点演变。在新能源电池包密封检测、氢燃料电池堆泄漏监测等新兴领域，其技术优势将持续释放产业价值。

       负压引流瓶由调压器、集液瓶、软管等组成。调压器与集液瓶合为一体，集液瓶上有一个软管接口，连接负压终端。集液瓶内是负压状态，接通时，打开调节阀，调节到所需的压力，该负压将引导污物（如污血、痰、体液灯等）通过软管流入集液瓶内。

       负压引流瓶泄漏若超过允许值，瓶内的负压会消失，产品即失效。气密性检测，可采用氦质谱检漏仪负压法检漏。具体方法：将产品通过软管及连接工装连接到氦气检测仪检漏口上，点按开始按钮，此时设备对产品进行抽真空，到预设本底要求时，用连接氦气的喷枪对产品的另一端喷吹氦气，设备进行自动检测。产品若有泄漏，氦气会通过产品的通道漏孔进入设备内部，超过预设报警值，设备进行报警。检漏结束，再次点按开始按钮，设备停止检漏，取下产品，进行下一次检漏操作。

       安徽歌博科技有限公司专业从事氦质谱检漏仪，自动化氦质谱检漏系统研发、生产和销售的企业，具有自主知识产权和持续创新能力，经营业绩稳定增长的高科技公司。

安徽歌博氦质谱检漏仪 A100产品特点

支持正压检漏，负压检漏

自动跟踪本底，提供快速可靠的测量结果

优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程快速响应

高可靠性的真空系统和质谱系统确保快速清氦

支持氮气破空，不受环境氦气干扰，快速降低本底

支持7*24小时长时间在线测试

支持几秒一次的高频率测试

配有检漏口精细过滤器，过滤细微杂质，确保机器不受杂质影响和损伤

双铱丝离子源，有效的系统设计，防大气冲击

支持定制检漏工作台，更加便捷使用

安徽歌博氦质谱检漏仪 A100技术参数

Z小可检漏率（负压模式） 5×10-13Pa·m3/s

Z小可检漏率（正压模式） 1×10-8Pa·m3/s

检漏口压强 粗检 1500Pa

中检 200Pa

精检 40Pa

响应时间 ＜1s

启动时间 ≤3min

前级油泵抽速 16m3/h 

外形尺寸（W×D×H） 845×465×988

重量 80Kg

       传统卤素灯双端管，由于光效低，寿命短，用LED R7S替代无疑是目前Z好的选择。例如：15W的LED R7S就可以替代150w的卤素灯双端管，按一天8小时计算，一天可以节省一度电，一年就是365度电。LED R7S，不但可以做暖光，还可以做白光，红光、绿光等彩光，这是卤素灯双端管所做不到的，因此LED R7S的用途可以更加广泛。

       R7S灯管氦气检测泄漏，采用氦质谱检漏仪被压法检漏。具体方法：将封装过工艺气体（氦气）后的产品放在设备的检漏罐里面，点击开始按钮，检漏仪对检漏罐进行抽空，产品内外存在压差，若灯管有泄漏，泄漏的氦气会从R7S灯管内部逃逸到检漏罐内，进而进入检漏仪内部，设备对其进行质谱分析，显示出对应的漏率。精度高，效率快。

某公司采用伯东 Pfeiffer  氦质谱检漏仪 ASM340  对 LNG 低温储罐检漏, 其罐体焊缝采用自动焊, 单条焊缝的漏率不高于 1×10-9 Pa.m3/s, 整台容器的漏率不高于 1×10-8Pa.m3/s.

氦质谱检漏仪 ASM340 技术参数:

氦质谱检漏仪 ASM340 优点:

1. 前级泵配备旋片泵（油泵）Adixen Pascal 1015 I 抽速高达15 m3/h

2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 对氦气抽速 2.5 l/s

3. 氦质谱检漏仪 ASM 340 对氦气的最小检检漏率：

   真空模式：5E-13 Pa m3/s

   吸枪/模式：5E-10 Pa m3/s 目前业界公认最小漏率

4. 移动式操作面板（有线、无线）

5. 集成SD卡, 方便资料处理

6. 抗破大气、抗震动, 降低由操作失误带来的风险性

7. 丰富的可选配件, 如吸枪、遥控器、小推车、旁路装置、标准漏孔等

8. 检测时间短

LNG 储罐需要检漏原因:

LNG 低温储罐是 LNG 储存运输过程中核心设备, 进行 LNG 运输时, 要考虑低温液体的绝热要求, 采用合理的绝热保护措施. 因为冷藏的 LNG 一旦发生泄露, 其气化量约为液态下的 600倍, 在空气中形成自动引爆的气团, 非常危险.

因此储罐容器的内胆, 外壳, 焊点, 阀门等部位都需要进行泄漏测试, 只有经过检漏的储罐才能作为合格, 放心的储存气体的载体, 如果客户储罐容量较大, 还需要外接真空泵组辅助检漏仪进行测试.

气体运输过程中的运输储罐, 槽罐车载体等同样需要进行氦质谱检漏才能上路运输.

若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

上海伯东 : 罗先生                               台湾伯东 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

伯东版权所有, 翻拷必究!

某不锈钢软管生产企业采用伯东 Pfeiffer  氦质谱检漏仪 ASM340  对波纹管进行检漏. 其生产的波纹管广泛用于石化, 冶炼, 航空航天, 建筑,电力, 供热管道, 机械制造等行业.

氦质谱检漏仪 ASM340 技术参数:

氦质谱检漏仪 ASM340 优点:

1. 前级泵配备旋片泵（油泵）Adixen Pascal 1015 I 抽速高达15 m3/h

2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 对氦气抽速 2.5 l/s

3. 氦质谱检漏仪 ASM 340 对氦气的最小检检漏率：

   真空模式：5E-13 Pa m3/s

   吸枪/模式：5E-10 Pa m3/s 目前业界公认最小漏率

4. 移动式操作面板（有线、无线）

5. 集成SD卡, 方便资料处理

6. 抗破大气、抗震动, 降低由操作失误带来的风险性

7. 丰富的可选配件, 如吸枪、遥控器、小推车、旁路装置、标准漏孔等

8. 检测时间短

待检漏产品: 定制超长波纹管

焊接波纹管检漏原因:

波纹管通常通过激光焊接连接至法兰或外壳. 激光焊接会产生光性均匀焊缝, 通过肉眼无法判断是否存在泄漏, 焊接波纹管对气密性的要求很高, 传统的泄漏测试, 如染料渗透测试, 制冷剂嗅探或气泡测试不能达到客户工业生产的要求, 因此需要引入氦质谱检漏仪进行泄漏检测.

若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

上海伯东 : 罗先生                               台湾伯东 : 王小姐
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       高压换热器作为一种热量转换装置，主要应用于大型火电机组回热系统，其传热性能的优劣直接影响机组的经济性与安全性。因此提高高压加热器的传热效率，减小热量传递过程中的不可逆损失，成为解决能源GX利用的重要措施之一。该装置由壳体和管系两大部分组成，在壳体内腔上部设置蒸汽凝结段，下部设置疏水冷却段，进、出水管顶端设置给水进口和给水出口。当过热蒸汽由进口进入壳体后即可将上部主螺管内的给水加热，蒸汽凝结为水后，凝结的热水又可将下部疏冷螺管内的部分给水加热，被利用后的凝结水经疏水出口流出体外。因此本装置对密封性良好与否直接关系到高压换热器的安全性能及能源转换效果。所以整体焊接部位及内部管路检漏是十分必要的。

       现在较为常用的方式，是在高压换热器充入一定压力的氦气，用检漏仪的吸枪在高压换热器可能会出现泄漏的地方进行探测。如果由氦气泄漏，则会被氦检仪捕捉到，根据事先设定好的报警值，高于报警值仪器报警。值得注意的是检测场地如果通风不畅的话，可能会有之前泄漏的氦气残存在空气中，影响检漏仪的检测结果，所以检测场地需要注意通风。

       安徽歌博科技有限公司氦质谱检漏仪，检测精度高，反应速度快，得到客户一致好评。在业内积累了良好的口碑。

氦质谱检漏仪中压开关柜检漏
应用于电力行业的中压开关柜, 广泛使用在发电厂, 变电站, 地区电网和输电站中. 另外也适用于船舶, 高铁等行业. 中压开关柜是一种金属封闭开关设备, 它对中压开关以外的其他设备, 起到很好的绝缘性能, 避免电弧烧穿电力设备, 保障电力使用上的安全, 中压开关柜内部通过吸和开关控制电路.

开关吸合器需要检漏
中压开关柜内部通过吸和开关控制电路, 吸合器内部真空环境, 如果有漏, 吸合开关就会失效, 造成通电终断, 导致事故发生. 因此需要进行检漏.

上海伯东中压开关柜检漏客户案例: 某国际知名中压开关生产企业, 生产的中压空气绝缘开关柜产品系列采用真空开关技术, 其内部的吸和开关需要进行检漏, 漏率要求 <1x10-7 mbar l/s, 采用真空模式检漏, 通过伯东推荐采购德国 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM 340.

上海伯东推荐中压开关柜检漏用氦质谱检漏仪 ASM 340

结合了 Pfeiffer 与 Adixen 两家检漏仪的技术优势, 上海伯东德国 Pfeiffer 推出全系列新型号氦质谱检漏仪, 从便携式检漏仪到工作台式检漏仪满足各种不同的应用. 氦质谱检漏仪替代传统泡沫检漏和压差检漏, 利用氦气作为示踪气体可精确定位, 定量漏点. 氦质谱检漏仪满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC. 推荐氦质谱检漏仪应用 >>

若您需要进一步的了解开关吸合器检漏, 请联络上海伯东叶小姐,分机109

国内著名激光焊接供应商-某新能源行业领军企业采用伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM340 用于锂电池检漏系统, 对锂电池外壳进行检漏.

氦质谱检漏仪 ASM340 技术参数:

氦质谱检漏仪 ASM 340 优点:

1. 前级泵配备旋片泵（油泵）Adixen Pascal 1015 I 抽速高达15 m3/h

2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 对氦气抽速 2.5 l/s

3. 氦质谱检漏仪 ASM 340 对氦气的最小检检漏率：

   真空模式：5E-13 Pa m3/s

   吸qiang模式：5E-10 Pa m3/s 目前业界公认最小漏率

4. 移动式操作面板（有线、无线）

5. 集成SD卡, 方便资料处理

6. 抗破大气、抗震动, 降低由操作失误带来的风险性

7. 丰富的可选配件, 如吸枪、遥控器、小推车、旁路装置、标准漏孔等

8. 检测时间短

客户现场使用图:

锂电池需要检漏原因:

一般的锂离子电池单元由一个正极, 一个负极和一个隔膜以及电解质构成. 这些单元在包装内排列. 由于锂金属的化学特性非常活泼, 使得锂金属的加工, 保存, 使用对环境要求非常高. 锂电池主要是外壳焊接处需要检漏, 如果锂电池里面的电解液因为外壳的不密封性而泄露出来可与潮湿环境产生剧烈反应, 不仅对环境和人员造成严重的危害, 同时影响设备使用寿命, 所以锂电池在组装和密封 ( 圆柱形及棱柱形单元通过焊接）环节, 需要进行泄漏测试.