伯东离子刻蚀机 IBE 用于金铜镍银铂等材料微米级刻蚀

Hakuto 日本原装设计制造离子刻蚀机 IBE , 提供微米级刻蚀 , 满足所有材料的刻蚀 , 即使对磁性材料 , 金铜镍银铂等金属及复合半导体材料 , 这些难刻蚀的材料也能进行微米级刻蚀 .

伯东离子刻蚀机 IBE 组成主要包含真空刻蚀腔体 , 样品台 , 离子源等 .

其配置如下 ：

一. 真空腔体

伯东离子刻蚀机 IBE 的真空刻蚀腔体配置的是德国 Pfeiffer 分子泵 .

Pfeiffer 分子泵抽速范围 10 至 2700 L/S , 转速高 90,000 rpm , 极限真空 1E-11 mbar , 能满足各种各样真空度要求 .

伯东是 Pfeiffer Vacuum 德国普发真空产品授权代理商 , 销售维修普发 Pfeiffer 真空产品已超过 20 年 .

二. 离子源

伯东离子刻蚀机 IBE 配置的美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 考夫曼 离子源 .

可选的离子源包括 ：

射频离子源 : RFICP380 , RFICP220 , RFICP140 , RFICP100 , RFICP40

考夫曼离子源 : KDC160 , KDC100 , KDC75 , KDC40 , KDC10

霍尔离子源 : eH3000 , eH2000 , eH1000 , eH400 , 线性霍尔离子源 eH Linear

伯东公司是美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 考夫曼离子源亚洲总代理 .

三. 样品台

伯东离子刻蚀机 IBE 的样品台可选直接冷却 / 间接冷却 / 水冷 , 而且可以 0-90 度旋转 .

其中基片尺寸大小支持 Φ3 inch , Φ4 inch , Φ5 inch , Φ6 inch , Φ8 inch 等各种尺寸 .

伯东离子刻蚀机 IBE 优势 :

伯东离子刻蚀机集好设备于一身 , 其性能也是优越于市面上绝大部分离子刻蚀机 .

1. 刻蚀材料范围广, 提供微米级刻蚀 , 满足所有材料的刻蚀, 即使对黄金 Au , 铂 Pt , 合金等金属及半导体材料也能提供优质蚀刻

2. 均匀性高 , 高达 ≤±5%

3. 硅片刻蚀率可达 20 nm/min

4. 样品台冷却方式多 , 可选直接冷却 , 间接冷却

5. 样品台可 0-90 度旋转

伯东离子蚀刻机 IBE 包含小型离子蚀刻用于研究分析和大型离子蚀刻系统用于生产制造 , 已应用于半导体器件 , 集成电路制造 , 薄膜电路 , 印刷电路 , 手机背板镀膜 , 手机广角镜头镀膜等 .

伯东离子刻蚀机 IBE 可选型号有 : 20IBE-J , 20IBE-C , 10IBE , 7.5IBE

离子束刻蚀（IBE）技术研究

1.离子束刻蚀（IBE）技术的原理？

离子束刻蚀（IBE，Ion Beam Etching）也称为离子铣（IBM，Ion Beam Milling），也有人称之为离子溅射刻蚀，是利用辉光放电原理将氩气分解为氩离子，氩离子经过阳极电场的加速对样品表面进行物理轰击，以达到刻蚀的作用。刻蚀过程即把Ar气充入离子源放电室并使其电离形成等离子体，然后由栅极将离子呈束状引出并加速，具有一定能量的离子束进入工作室，射向固体表面轰击固体表面原子，使材料原子发生溅射，达到刻蚀目的，属纯物理刻蚀。工件表面有制备沟槽的掩膜，最后裸露的部分就会被刻蚀掉，而掩膜部分则被保留，形成所需要的沟槽图形。

离子束刻蚀使高方向性的中性离子束能够控制侧壁轮廓，优化纳米图案化过程中的径向均匀性和结构形貌。另外倾斜结构可以通过倾斜样品以改变离子束的撞击方向这一独特能力来实现。

在离子束刻蚀过程中，通常情况下，样品表面采用厚胶作为掩模层，刻蚀期间富有能量的离子流会使得基片和光刻胶过热。为了便于后面光刻胶的剥离清洗，一般需要对样品台进行冷却处理，使整个刻蚀过程中温度控制在一个比较好的范围。

图1 离子束刻蚀设备结构图

图2 离子束刻蚀工艺原理图

2.离子束刻蚀（IBE）适合的材料体系？

可用于刻蚀加工各种金属（Ni、Cu、Au、Al、Pb、Pt、Ti等）及其合金，以及非金属、氧化物、氮化物、碳化物、半导体、聚合物、陶瓷、红外和超导等材料。

目前离子束刻蚀在非硅材料方面优势明显，在声表面波、薄膜压力传感器、红外传感器等方面具有广泛的用途。

3. 离子束刻蚀（IBE）技术的优点和缺点？

a 优点：

 （1）方向性好、无钻蚀、陡直度高；

 （2）刻蚀速率可控性好，图形分辨率高，可达0.01um；

 （3）属于物理刻蚀，可以刻蚀各种材料（Si、SiO2、GaAs、Ag、Au、光刻胶等）；

 （4）刻蚀过程中可改变离子束入射角来控制图形轮廓，加工特殊的结构；

b 缺点：

 （1）刻蚀速率慢、效率比ICP更低；

 （2）难以完成晶片的深刻蚀；

 （3）属于物理刻蚀，常常会有过刻的现象。

4.反应离子束刻蚀（RIBE）技术简介及优点？

反应离子束刻蚀（RIBE）是在离子束刻蚀的基础上，增加了腐蚀性气体，因此它不但保留了离子束物理刻蚀能力，还增加了腐蚀性气体（氟基气体、O2）离化后对样品的化学反应能力（反应离子束刻蚀：RIBE），也支持腐蚀性气体非离化态的化学辅助刻蚀能力（化学辅助离子束刻蚀：CAIBE），对适用于化学辅助的材料可以大幅度提升刻蚀速率，提高刻蚀质量。

5. 离子束刻蚀（IBE）的案例展示  

典型应用：

1、三族和四族光学零件

2、激光光栅

3、高深宽比的光子晶体刻蚀

4、在二氧化硅、硅和金属上深沟刻蚀

5、微流体传感器电极

6、测热式微流体传感器

某不锈钢软管生产企业采用伯东 Pfeiffer  氦质谱检漏仪 ASM340  对波纹管进行检漏. 其生产的波纹管广泛用于石化, 冶炼, 航空航天, 建筑,电力, 供热管道, 机械制造等行业.

氦质谱检漏仪 ASM340 技术参数:

氦质谱检漏仪 ASM340 优点:

1. 前级泵配备旋片泵（油泵）Adixen Pascal 1015 I 抽速高达15 m3/h

2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 对氦气抽速 2.5 l/s

3. 氦质谱检漏仪 ASM 340 对氦气的最小检检漏率：

   真空模式：5E-13 Pa m3/s

   吸枪/模式：5E-10 Pa m3/s 目前业界公认最小漏率

4. 移动式操作面板（有线、无线）

5. 集成SD卡, 方便资料处理

6. 抗破大气、抗震动, 降低由操作失误带来的风险性

7. 丰富的可选配件, 如吸枪、遥控器、小推车、旁路装置、标准漏孔等

8. 检测时间短

待检漏产品: 定制超长波纹管

焊接波纹管检漏原因:

波纹管通常通过激光焊接连接至法兰或外壳. 激光焊接会产生光性均匀焊缝, 通过肉眼无法判断是否存在泄漏, 焊接波纹管对气密性的要求很高, 传统的泄漏测试, 如染料渗透测试, 制冷剂嗅探或气泡测试不能达到客户工业生产的要求, 因此需要引入氦质谱检漏仪进行泄漏检测.

若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

上海伯东 : 罗先生                               台湾伯东 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

伯东版权所有, 翻拷必究!

国内著名激光焊接供应商-某新能源行业领军企业采用伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM340 用于锂电池检漏系统, 对锂电池外壳进行检漏.

氦质谱检漏仪 ASM340 技术参数:

氦质谱检漏仪 ASM 340 优点:

1. 前级泵配备旋片泵（油泵）Adixen Pascal 1015 I 抽速高达15 m3/h

2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 对氦气抽速 2.5 l/s

3. 氦质谱检漏仪 ASM 340 对氦气的最小检检漏率：

   真空模式：5E-13 Pa m3/s

   吸qiang模式：5E-10 Pa m3/s 目前业界公认最小漏率

4. 移动式操作面板（有线、无线）

5. 集成SD卡, 方便资料处理

6. 抗破大气、抗震动, 降低由操作失误带来的风险性

7. 丰富的可选配件, 如吸枪、遥控器、小推车、旁路装置、标准漏孔等

8. 检测时间短

客户现场使用图:

锂电池需要检漏原因:

一般的锂离子电池单元由一个正极, 一个负极和一个隔膜以及电解质构成. 这些单元在包装内排列. 由于锂金属的化学特性非常活泼, 使得锂金属的加工, 保存, 使用对环境要求非常高. 锂电池主要是外壳焊接处需要检漏, 如果锂电池里面的电解液因为外壳的不密封性而泄露出来可与潮湿环境产生剧烈反应, 不仅对环境和人员造成严重的危害, 同时影响设备使用寿命, 所以锂电池在组装和密封 ( 圆柱形及棱柱形单元通过焊接）环节, 需要进行泄漏测试.

某汽车厂商对变速器的漏率规格要求<=1E-2 mbar.l/s, 经过伯东推荐, 采购伯东 Hakuto 检漏仪 Dan-100 用于汽车变速器检漏

零件检漏系统-检漏仪 Hakuto-Dan-100 技术参数:

检漏仪 Hakuto-Dan-100 优势:

1. 干式检漏, 无须后段干燥制程, 节省测试流程.

2. 机器自动判断, 避免人为疏失.

3. 无须使用氦气, 节省成本.

4. 无须充气, 减少复杂的密封夹治具, 降低夹治具成本.

5. 无快速接头, 避免快速接头漏气造成误判.

6. 检漏灵敏度：>= 1E-5 mbar l/s, 大幅超越气泡检漏及充气检漏.

7. 选定工件型号即自动带入测试条件, 避免人为疏失.

8. 测试不合格品, 需主管同意才能取出, 避免人为疏失混入合格品.

检漏仪 Hakuto-Dan-100 检漏原理:

将待测物抽真空, 使用侦测器量测进入待测物的空气量.  

随着汽车工业的高速发展, 对汽车各个部件的密封性能, 测试效率, 检测可靠性提出越来越高的要求,  检漏仪 Hakuto-Dan-100 作为一种无损干式检漏, GX的全新泄漏检测手段, 广泛应用于汽车制造业!

等离子体的产生主要是靠电子去撞击中性气体原子，使中性气体原子解离而产生等离子体，但中性气体原子核对其外围的电子有一束缚的能量，我们称它为束缚能，而外界的电子能量必须大于此束缚能，才会有能力解离此中性气体原子，但是，此外界的电子往往是能量不足的，没有解离中性气体原子的能力，所以，我们必须用外加能量的方法给原子电子能量，使电子有利用解离此中性气体原子。

中性气体原子解离而产生等离子体 -kimberlite

用无线电波范围的高频产生的等离子体与激光等直射光线不同，它的方向性不强，因此它可以深入物体的微细孔眼和凹陷的内部并完成清洗任务，所以不必过多考虑被清洗物体形状的影响，而且对这些难清洗部位的清洗效果与用氟里昂清洗的效果相似甚至更好。

kimberlite金铂利莱等离子清洗机

利用等离子体里的离子作纯物理的撞击，把材料表面的原子或附着材料表面的原子打掉，由于离子在压力较低时的平均自由基较轻长，有得能量的累积，因而在物理撞击时，离子的能量越高，越是有的作撞击，所以若要以物理反应为主时，就必须控制较的压力下来进行反应，这样清洗效果较好哦。

本文由金铂利莱等离子刻蚀机厂家分享，更多新消息欢迎关注我们！

等离子表面清洗机已经广泛用于手机行业、玻璃行业、电子电路行业、材料行业、印刷造纸、纤维服装等等。

等离子清洗机广泛应用多个行业,到底哪里好

等离子清洗的技术特点是：它不分处理对象，可处理不同的基材，无论是金属、半导体、氧化物还是高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、环氧树脂等高聚物)都可用等离子体很好地处理，因此，特别适合不耐热和不耐溶剂的基底材料。而且还可以有选择地对材料的整体、局部或复杂结构进行部分清洗。

等离子清洗的机理是依靠处于“等离子态”的物质的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。从目前各类清洗方法来看，可能等离子体清洗也是所有清洗方法中彻底的剥离式的清洗了。

kimberlite 等离子清洗机广泛应用多个行业

福州大学离子束刻蚀机顺利验收

烈日炎炎，热情满心间！后疫情时代，NANO-MASTER工程师步履不停，一站接一站为客户提供设备安装调试服务。首站福州大学，那诺-马斯特工程师已顺利安装验收NIE-3500型离子束刻蚀机！

性能配置：

• 离子束刻蚀机用于刻蚀金属和介质，z大可支持6”晶圆。

• 配套美国考夫曼-罗宾逊 KDC160离子枪，650mA，100-1200V。刻蚀速率：~250A/min对Au；刻蚀均匀度：对4”片，片内均匀性优于±3%，重复性优于±3%。

• 样品台可旋转，转速0-30RPM精确可控；可任意角度倾斜，支持斜齿刻蚀；带水冷功能，刻蚀后易去除光刻胶。

• 极限真空12小时可达6x10-7Torr，15分钟可达10-6Torr量级的真空；采用双真空计，长期可靠，使用稳定。

• 14”不锈钢立方腔体，配套一台主控计算机，20”触摸屏监控，配合Labview软件，实现计算机全自动工艺控制，并可在电源中断情况下安全恢复；完全的安全联锁；支持百级超净间使用。

  
  

验收培训：

安装调试视频：

氦质谱检漏仪中压开关柜检漏
应用于电力行业的中压开关柜, 广泛使用在发电厂, 变电站, 地区电网和输电站中. 另外也适用于船舶, 高铁等行业. 中压开关柜是一种金属封闭开关设备, 它对中压开关以外的其他设备, 起到很好的绝缘性能, 避免电弧烧穿电力设备, 保障电力使用上的安全, 中压开关柜内部通过吸和开关控制电路.

开关吸合器需要检漏
中压开关柜内部通过吸和开关控制电路, 吸合器内部真空环境, 如果有漏, 吸合开关就会失效, 造成通电终断, 导致事故发生. 因此需要进行检漏.

上海伯东中压开关柜检漏客户案例: 某国际知名中压开关生产企业, 生产的中压空气绝缘开关柜产品系列采用真空开关技术, 其内部的吸和开关需要进行检漏, 漏率要求 <1x10-7 mbar l/s, 采用真空模式检漏, 通过伯东推荐采购德国 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM 340.

上海伯东推荐中压开关柜检漏用氦质谱检漏仪 ASM 340

结合了 Pfeiffer 与 Adixen 两家检漏仪的技术优势, 上海伯东德国 Pfeiffer 推出全系列新型号氦质谱检漏仪, 从便携式检漏仪到工作台式检漏仪满足各种不同的应用. 氦质谱检漏仪替代传统泡沫检漏和压差检漏, 利用氦气作为示踪气体可精确定位, 定量漏点. 氦质谱检漏仪满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC. 推荐氦质谱检漏仪应用 >>

若您需要进一步的了解开关吸合器检漏, 请联络上海伯东叶小姐,分机109