镀膜机光控原理是什么？怎么监控的

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  班里滴血玫瑰 2009-07-06 00:00:00

  什么光控，是光学膜的厚度监控么？

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  qingcai0507 2009-07-06 00:00:00

  原理吧，就光学的那几个原理，监控吧，虽然都是监控，但具体说的话又有很多不同之处. 还是找本书自己看吧 ，这问题几句话说不清楚.

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  艳艳说～ 2016-12-01 16:36:51

  30/50/75W光源经直流稳压电源稳压，使光源强度保持不便，在光源前加一个由同步电机带动的截光片，使光线有时通过，有时通不过，截光频率为每秒300次，因此光源变成了300r/s的交流光源，再经过聚光镜进入单色仪的入射狭缝，经过棱镜将白光分成单色光线，然后通过出射狭缝射出，得到单色光，通过鼓轮转动棱镜调节单色光波长，由出射狭缝出来的光线被光电倍增管接收，将光信号转换为电信号，再经过选频放大后以电流计指示。 在镀膜过程中，随介质膜厚度的增加，在1/4波长和其整数倍的厚度时，其反射光和透射光强度陆续出现极大值和极小值，利用这种原理来控制膜厚的方法叫极值法控制。

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  点一点滴十滴 2016-10-25 01:02:44

  镀膜机光控原理是：利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且Z终沉积在基片表面，经历成膜过程，Z终形成薄膜。 监控方法：在镀膜过程中，膜层厚度增加后，其透过率或者反射率跟着变化，当到达极值点时其光学厚度为监控波长的1/4，利用这个控制膜厚。晶控法监控膜厚的原理 为利用石英晶体振动频率与其质量成反比的原理，通过仪表监控频率控制膜厚的。

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