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晶体生长
布里奇曼晶体生长
布里奇曼方法是用预合成材料缓慢地下降,通过一个具有温度梯度的区间。被熔化的材料通过一个较低的温度梯度区间,形成单晶。
优势在于加热区短,根据布里奇曼方法,可获得较理想的温度梯度。温度向管式炉底部递减。拉伸结构向着低温区的位移速度可调。样品热电偶紧靠着样品,能精确了解样品的温度。样品和控温热电偶安装在升降装置底部。装载和卸载时,机构可快速反应。或者根据用户指定的晶体生长速度移动。
样品热电偶和控温热电偶在陶瓷工作管附近。工作管两端是水冷法兰。工作管上面的法兰是固定的,底部的螺纹管,连接着工作管和升降装置。当样品向下移动时,螺纹管开始延伸。即使在真空下,样品也可以向下移动。
工作管顶部是连接着真空泵。真空阀门可手动开关。真空度由压电陶瓷真空计控制。惰性气体流量由转子流速计手动控制。为了在工艺开始前降低氧含量,需要进行反复多次的预抽真空和惰性气体冲刷。工艺步骤适配的炉型
升降装置用于布里奇曼晶体生长,同时可结合不同的单区或多区控温管式炉。BV-HTRV管式炉装有用于布里奇曼方法的特殊设计的结构。标准型号,如HTRV 70-250或HTRV 100-250的工作管装有一个升降装置上,需要注意的是,所有的管式炉都可以装这个装置。最常见的有两种炉型,HTRV 70-250和HTRV 100-250。
该系统可以连接计算机,可记录运行时的所有数据。如,样品位置、热电偶温度。装载和卸载样品时,夹具必须打开。机构可现实快速移动,样品方便拿取。
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