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芯片测试需要准备什么?

仪准科技(北京)有限公司 2019-12-16 10:11:10 594  浏览
  • 失效分析样品准备:

    失效分析是芯片测试重要环节,无论对于量产样品还是设计环节亦或是客退品,失效分析可以帮助降低成本,缩短周期。

    常见的失效分析方法有Decap,X-RAY,IV,EMMI,FIB,SEM,EDX,Probe,OM,RIE等,因为失效分析设备昂贵,大部分需求单位配不了或配不齐需要的设备,因此借用外力,使用对外开放的资源,来完成自己的分析也是一种很好的选择。我们选择去外面测试时需要准备的信息有哪些呢?下面为大家整理一下:

    一、decap:写清样品尺寸,数量,封装形式,材质,开封要求(若在pcb板上,Z好提前拆下,pcb板子面较大有突起,会影响对芯片的保护)后续试验。

    1.IC开封(正面/背面) QFP, QFN, SOT,TO, DIP,BGA,COB等

    2.样品减薄(陶瓷,金属除外)

    3.激光打标

    4.芯片开封(正面/背面)

    5.IC蚀刻,塑封体去除

    二、X-RAY:写清样品尺寸,数量,材质(密度大的可以看到,密度小的直接穿透),ZD观察区域,精度。

    1.观测DIP、SOP、QFP、QFN、BGA、Flipchip等不同封装的半导体、电阻、电容等电子元器件以及小型PCB印刷电路板

    2.观测器件内部芯片大小、数量、叠die、绑线情况

    3.观测芯片crack、点胶不均、断线、搭线、内部气泡等封装

    缺陷,以及焊锡球冷焊、虚焊等焊接缺陷

    三、IV:写清管脚数量,封装形式,加电方式,电压电流限制范围。实验人员需要提前确认搭建适合的分析环境,若样品不适合就不用白跑一趟了。

    1.Open/Short Test

    2.I/V Curve Analysis

    3.Idd Measuring

    4.Powered Leakage(漏电)Test

    四、EMMI:写清样品加电方式,电压电流,是否是裸die,是否已经开封,特殊要求等,EMMI是加电测试,可以连接各种源表,确认加电要求,若实验室没有适合的源表,可以自带,避免做无用功。

    1.P-N接面漏电;P-N接面崩溃

    2.饱和区晶体管的热电子

    3.氧化层漏电流产生的光子激发

    4.Latch up、Gate Oxide Defect、Junction Leakage、

    Hot Carriers Effect、ESD等问题

    五、FIB:写清样品尺寸,材质,导电性是否良好,若尺寸较大需要事先裁剪。一般样品台1-3cm左右,太大的样品放不进去,也影像定位,导电性好的样品分析较快,导电性不好的,需要辅助措施才能较好的分析。切点观察的,标清切点要求。切线连线写清方案,发定位文件。

    1.芯片电路修改和布局验证

    2.Cross-Section截面分析

    3.Probing Pad

    4.定点切割

    六、SEM:写清样品尺寸,材质,导电性是否良好,若尺寸较大需要事先裁剪。一般样品台1-3cm左右,太大的样品放不进去,也影像定位,导电性好的样品分析较快,导电性不好的,需要辅助措施才能较好的分析。

    1.材料表面形貌分析,微区形貌观察

    2.材料形状、大小、表面、断面、粒径分布分析

    3.薄膜样品表面形貌观察、薄膜粗糙度及膜厚分析

    4.纳米尺寸量测及标示

    七、EDX:写清样品尺寸,材质,EDX是定性分析,能看到样品的材质和大概比例,适合金属元素分析。

    1.微区成分定性分析

    八、Probe:写清样品测试环境要求,需要搭配什么源表,使用什么探针,一般有硬针和软针,软针较细,不易对样品造成二次损伤。

    1.微小连接点信号引出

    2.失效分析失效确认

    3.FIB电路修改后电学特性确认

    4.晶圆可靠性验证

    九、OM:写清样品情况,对放大倍率要求。OM属于表面观察,看不到内部情况。

    1.样品外观、形貌检测

    2.制备样片的金相显微分析

    3.各种缺陷的查找

    4.晶体管点焊、检查

    十、RIE:写清样品材质,需要看到的区域。

    1.用于对使用氟基化学的材料进行各向同性和各向异性蚀刻,其中包括碳、环氧树脂、石墨、铟、钼、氮氧化物、光阻剂、聚酰亚胺、石英、硅、氧化物、氮化物、钽、氮化钽、氮化钛、钨钛以及钨

    2.器件表面图形的刻蚀

     

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热门问答

芯片测试需要准备什么?

失效分析样品准备:

失效分析是芯片测试重要环节,无论对于量产样品还是设计环节亦或是客退品,失效分析可以帮助降低成本,缩短周期。

常见的失效分析方法有Decap,X-RAY,IV,EMMI,FIB,SEM,EDX,Probe,OM,RIE等,因为失效分析设备昂贵,大部分需求单位配不了或配不齐需要的设备,因此借用外力,使用对外开放的资源,来完成自己的分析也是一种很好的选择。我们选择去外面测试时需要准备的信息有哪些呢?下面为大家整理一下:

一、decap:写清样品尺寸,数量,封装形式,材质,开封要求(若在pcb板上,Z好提前拆下,pcb板子面较大有突起,会影响对芯片的保护)后续试验。

1.IC开封(正面/背面) QFP, QFN, SOT,TO, DIP,BGA,COB等

2.样品减薄(陶瓷,金属除外)

3.激光打标

4.芯片开封(正面/背面)

5.IC蚀刻,塑封体去除

二、X-RAY:写清样品尺寸,数量,材质(密度大的可以看到,密度小的直接穿透),ZD观察区域,精度。

1.观测DIP、SOP、QFP、QFN、BGA、Flipchip等不同封装的半导体、电阻、电容等电子元器件以及小型PCB印刷电路板

2.观测器件内部芯片大小、数量、叠die、绑线情况

3.观测芯片crack、点胶不均、断线、搭线、内部气泡等封装

缺陷,以及焊锡球冷焊、虚焊等焊接缺陷

三、IV:写清管脚数量,封装形式,加电方式,电压电流限制范围。实验人员需要提前确认搭建适合的分析环境,若样品不适合就不用白跑一趟了。

1.Open/Short Test

2.I/V Curve Analysis

3.Idd Measuring

4.Powered Leakage(漏电)Test

四、EMMI:写清样品加电方式,电压电流,是否是裸die,是否已经开封,特殊要求等,EMMI是加电测试,可以连接各种源表,确认加电要求,若实验室没有适合的源表,可以自带,避免做无用功。

1.P-N接面漏电;P-N接面崩溃

2.饱和区晶体管的热电子

3.氧化层漏电流产生的光子激发

4.Latch up、Gate Oxide Defect、Junction Leakage、

Hot Carriers Effect、ESD等问题

五、FIB:写清样品尺寸,材质,导电性是否良好,若尺寸较大需要事先裁剪。一般样品台1-3cm左右,太大的样品放不进去,也影像定位,导电性好的样品分析较快,导电性不好的,需要辅助措施才能较好的分析。切点观察的,标清切点要求。切线连线写清方案,发定位文件。

1.芯片电路修改和布局验证

2.Cross-Section截面分析

3.Probing Pad

4.定点切割

六、SEM:写清样品尺寸,材质,导电性是否良好,若尺寸较大需要事先裁剪。一般样品台1-3cm左右,太大的样品放不进去,也影像定位,导电性好的样品分析较快,导电性不好的,需要辅助措施才能较好的分析。

1.材料表面形貌分析,微区形貌观察

2.材料形状、大小、表面、断面、粒径分布分析

3.薄膜样品表面形貌观察、薄膜粗糙度及膜厚分析

4.纳米尺寸量测及标示

七、EDX:写清样品尺寸,材质,EDX是定性分析,能看到样品的材质和大概比例,适合金属元素分析。

1.微区成分定性分析

八、Probe:写清样品测试环境要求,需要搭配什么源表,使用什么探针,一般有硬针和软针,软针较细,不易对样品造成二次损伤。

1.微小连接点信号引出

2.失效分析失效确认

3.FIB电路修改后电学特性确认

4.晶圆可靠性验证

九、OM:写清样品情况,对放大倍率要求。OM属于表面观察,看不到内部情况。

1.样品外观、形貌检测

2.制备样片的金相显微分析

3.各种缺陷的查找

4.晶体管点焊、检查

十、RIE:写清样品材质,需要看到的区域。

1.用于对使用氟基化学的材料进行各向同性和各向异性蚀刻,其中包括碳、环氧树脂、石墨、铟、钼、氮氧化物、光阻剂、聚酰亚胺、石英、硅、氧化物、氮化物、钽、氮化钽、氮化钛、钨钛以及钨

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晶圆测试及芯片测试

一、需求目的:1、热达标;2、故障少 1KJ[&jS ]
二、细化需求,怎么评估样品:1、设计方面;2、测试方面 ): r'IR
三、具体到芯片设计有哪些需要关注: MW=rX>tE
1、顶层设计 k\ZU%"^J
2、仿真 Ppx4#j
3、热设计及功耗 B<~BX [
4、资源利用、速率与工艺 -&QpQ7q1
5、覆盖率要求 ytV4qU82G
6、 t~Ic{%bdA
四、具体到测试有哪些需要关注: SW HiiF@
1、可测试性设计 W=,]#Z+M;
2、常规测试:晶圆级、芯片级 8Z 0@-8vi
3、可靠性测试 c{jTCkzq
4、故障与测试关系 K=dG-+B~}
5、 W@~a#~1O
+V#dJ[,8;.
测试有效性保证; |Lc.XxBkc
设计保证?测试保证?筛选?可靠性?  x![ut  
设计指标?来源工艺水平,模块水平,覆盖率 cn'r BY

晶圆测试:接触测试、功耗测试、输入漏电测试、输出电平测试、全面的功能测试、全面的动态参数测试、   模拟信号参数测试。 Nh6!h%
晶圆的工艺参数监测dice, V j[,o Vt$
:/;;|lGw
Ul|htB<1:
芯片测试:ATE测试项目来源,边界扫描 `L.nj6F
=8 DS~J{
  a!;K+wL>
故障种类: :n oZ p:a
缺陷种类: 0|(6q=QK
针对性测试: fc%C!^7
~Ecx>f4nX
性能功能测试的依据,可测试性设计:扫描路径法scan path、内建自测法BIST-built in self-test YKa9]Q
|PLWF[+t8
t;lK=m|
芯片资源、速率、功耗与特征尺寸的关系; szy2"~hm
仿真与误差, {z8wFL\
n 预研阶段 Vc "+|^
n 顶层设计阶段 !Ee&e~"
n 模块设计阶段 e`% <D[-
n 模块实现阶段 Bv}nG|
n 子系统仿真阶段 oh >0}Gc8
n 系统仿真,综合和版面设计前门级仿真阶段 r6}-EYq=
n 后端版面设计 LLwC*)#
n 测试矢量准备 <*djtO
n 后端仿真 mB*;> 
n 生产 eo4v[V&
n 硅片测试 N1'$;9 c
顶层设计: @Y+9")?
n 书写功能需求说明 _MUSXB'
n 顶层结构必备项 <7J\8JR&=
n 分析必选项-需要考虑技术灵活性、资源需求及开发周期 !Bb^M3iA  
n 完成顶层结构设计说明 -2y>X`1Y
n 确定关键的模块(尽早开始) ~6Hi"w
n 确定需要的第三方IP模块 W/
n 选择开发组成员 IsB=G-s
n 确定新的开发工具 6ieP` bct
n 确定开发流程/路线 >3y:cPTM5
n 讨论风险 GhY MO6Q4
n 预计硅片面积、输入/输出引脚数  开销和功耗 AJ85[~(lX
n 国软检测 芯片失效分析ZX

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