真空镀膜的结构

亡魂之唤伟 2010-05-07 13:52:36 343 浏览

谁知道真空镀膜机的结构，要详细得，谢谢

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勤奋的ly9063 2010-05-15 00:00:00

镀膜机的组成及各部件：机械泵、增压泵、油扩散泵、冷凝泵、真空测量系统、镀膜监控系统及各自的工作原理，镀膜机按照其应用领域的不同可以分为电子枪热蒸发镀膜机、磁控溅射镀膜机、等离子镀膜机、射频镀膜机等，但是他们的结构都一样，以光学镀膜机为例，主要有三大部分组成：真空主体——真空腔，辅助排气系统（包括排气系统、真空测量系统）、蒸发系统（包括坩埚及回转控制系统、电子枪柜）、成膜控制系统。

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邓彦恒 2010-05-08 00:00:00

1。真空室 2。真空获得系统 3。真空检测系统 4。控制系统 5。冷却水系统 6。压缩空气系统 7。电源系统 8。工件转架系统 9。蒸发源系统 10。反应气体系统 11。配电系统是做毕业设计么？有不明白的可以Hi我

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真空镀膜的结构: 谁知道真空镀膜机的结构，要详细得，谢谢

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