请问激光位移传感器属于哪一类检测设备？

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  jj9ne3 2013-01-25 00:00:00

  像真尚有的传感器zlds100。采用比色法、干涉条纹法以及椭偏术等测量各种透明薄膜；采用磨角染色法、层错法、红外光反射法以及背散射技术等检验外延层厚度、扩散层和离子注入层的深度；采用间接干涉法和台阶仪等测量金属膜和多晶硅的厚度等。

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  ryg3000 2013-01-24 00:00:00

  按传感器的十大分类来说：激光位移传感器属于光学类传感器。从计量学上分：激光位移传感器属于力学的范围。从用途上分：激光位移传感器属于工艺控制类检测设备。

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  UzsjhsYiK 2013-01-28 00:00:00

  可以说是光学检测设备，非接触式的。也可以分为位移传感和测距传感器等，其中测距的比较有代表性的是LDM30x和LDM4x、ZDM。

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