为什么直流溅射不稳定？
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今天实验，装好靶材后发现用直流的时候出现了不稳定忽闪忽闪的辉光，而且可以明显的看出在金属靶材表面有一些散步的亮点现象而用射频的时候就不同了，在非金属靶BN上很稳定的弧光望内行告知谢谢！
全部评论(1条)
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- Jennifer198666 2014-08-11 00:00:00
- burn-in俗称烧靶，目的是使靶材达到工作温度，并消除Z表面的缺限，如氧化物等杂质.楼主看到的亮光可能是因为靶材内有细微的空气泡，一溅射就燃烧发光了，要是出现较大的空洞，里面的空气会在圆片上形成很大的打火点. 查看原帖>>
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