哪位高手知道分辨率为0.001μm的位移传感器

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  huanzhugege655 2010-12-23 00:00:00

  光谱激光位移传感器，大约6万一台，进口的，可达到1nm精度

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  超级禾呈程z鞍 2010-12-23 00:00:00

  利用差动变压器原理（LVDT）的位移传感器的分辨率为无穷。但是需要说明的是，这只是他的理论分辨率。测量精度是到不了这么高的。按照量程来说，基本上是小于1%的精度。

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  虎子2023 2010-12-23 00:00:00

  分辨率为0.001μm=1nm的位移传感器，说实话，我不但没见过，听都没听说过，一般大面具的四象限位移传感器的分辨率做到0.2-0.5μm已经算是很不错了，单轴的位移传感器也只能做到小数点后两位（μm），你所说的位移传感器，我估计是不存在的。你可以去看看DL100-7，OD6-7这两款，一个是四象限的，一个是单轴的，精度在位移传感器里面来说做的算是很不错的，是德国Silicon Sensor的产品。 另外，测纸板厚度我认为没有必要精确到1个nm，建议更改下思路，我手上有很多精密测量仪器的客户，目前来说，要求精度Z高的就是10个nm.nm为单位以及更高的测量精确度，据我所知是无法靠器件来辨别的，都是靠高倍放大镜（显微镜）做的。 供参考。

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