台阶仪的台阶高度重复性是指的什么？
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“台阶高度重复性可以到达5Å”这句话具体解释一下是什么意思？台阶仪的台阶高度重复性是指的什么？... “台阶高度重复性可以到达5Å” 这句话具体解释一下是什么意思？台阶仪的台阶高度重复性是指的什么？ 展开
全部评论(1条)
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- 书墨ing 2013-09-18 00:00:00
- 台阶仪是用来测量薄膜厚度的吧. 高度重复性就是说其他条件相同时两次不同的测量下的结果差的很小. 重复性可以达到5埃就是说结果相差小于5埃.
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本期主要说下接触式表面形貌测量仪器：台阶仪
台阶仪根据使用传感器的不同，接触式台阶测量可以分为电感式、压电式和光电式3种。
基本工作原理如下：
当台阶仪的触针在被测的物体表面轻轻滑过时，被接触的物体表面微小的峰谷就会让触针在进行滑行的同时也做一些上下运动。因此表面轮廓的情况在一定程度上就被触针的运动情况所体现出来。
以优尼康主推的KLA台阶仪D-Series & P-series为例，简单看下：
触针传感器技术：高度分辨率低于0.1纳米
光学杠杆传感器: D-Series
电容传感器 (LVDC): P-Series
所有KLA系列台阶仪探针均由金刚石制成，具有出色的可靠性
应用：
医用支架台阶高度；药库深度
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