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雷尼绍激光干涉仪回转轴精度的测量方法

qq476540171 2012-07-09 00:23:56 421  浏览
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参与评论

全部评论(1条)

  • lagngalkgn 2012-07-10 00:00:00
    雷尼绍激光干涉仪测量回转轴精度时,需要转台附件(XR20-W)配合使用,此外还需要使用角度干涉镜。如果你使用的是有线转台附件(RX10),则还需要使用角度反射镜。 测量回转轴精度时, diyi步,需要将转台附件的ZX,与回转轴ZX对齐(偏差在1mm之内)。 第二步,搭好光路。 第三步,可以运行测量软件进行测量。

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