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- xigubu 2011-08-02 00:00:00
- 蒸镀 蒸镀镀膜就是在真空中通过电流加热、电子束轰击加热和镭射加热等方法，使薄膜材料蒸镀成为原子或分子，它们随即以较大的自由程作直线运动，碰撞基片
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- sfhuhhgf 2017-11-24 15:59:07
- 溅射比蒸镀和工作真空低一个数量级，所以膜层的含气量要比蒸镀高. 蒸镀不适用于高溶点材料，如钼，钨，~~等.因为溶点高，蒸发太慢，而溅射的速度比蒸镀快很多. 溅射不适用于低硬度材料，如非金属材料. 溅射不适用于非导电材料. 蒸镀不能控制厚度，而溅射可以用时间控制厚度. 蒸镀不适应大规模的生产. 蒸镀的电子动能比溅射小很多，虽然含气量少，但是膜层易脱落， 溅射的膜均匀，蒸镀的膜ZX点厚，四周薄. 在国内蒸镀工艺比溅射工艺成熟. 当然还有很多，一会也说不完.就看你主要想知道什么.
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