【课程推荐】KLA Instruments | Webinar课程:反射和透射:两个优于一个
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KLA Instruments | Webinar课程:反射和透射:两个优于一个。
※适合新老客户了解学习膜厚仪的使用;加深对产品的理解。
FILMETRICS
同时测量光谱反射和透射对分析光学薄膜来讲是非常重要的。欢迎来到F10-RT独特的境界里。显然这会限制我们只能用透明基底材料, 但这会让我们更准确地测量光学系数 (特别是消光系数)。除五彩缤纷的介电薄膜外我们还会讨论上百纳米厚的金属薄膜。
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Michelle Shi
应用工程师 @KLA Instruments
Michelle Shi 是KLA Instrument Group Filmetrics 光学轮廓仪以及薄膜测量仪的应用工程师。Michelle 于2019年5月加入KLA公司, 担任Filmetrics薄膜测量以及光学轮廓产品的应用,客户支持以及业务开发,主要支持Profilm3D光学轮廓仪以及Filmetrics全系列薄膜测量产品。在加入KLA之前,Michelle在美国俄亥俄大学获得物理学硕士学位并在NASA Ames硅谷研究ZX进行科学研究,以及在高新科技初创企业kaiaTech担任高级工艺工程师负责半导体薄膜材料的研发及新应用。
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FILMETRICS
超过8微米的厚膜会产生很多光干涉条纹。分析这样复杂光谱的一个简洁方法就是用快速傅里叶变换。FILMeasure 软件包括一系列高智能方法来简化光谱分析。这包括FFT窗口功能,波长范围自动优化,以及光学厚度滤波。
我们会讲到光斑尺寸的影响以及设备的选配。还会讲到多层薄膜的应用。下期预告:
时间:2020年9月17日 上午10点
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