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电子束蒸发镀膜机可以同时蒸镀几个靶材么

高金龙J油 2017-09-24 00:48:26 528  浏览
  •  

参与评论

全部评论(1条)

  • 3310mj 2017-09-25 00:00:00
    * 1.蒸发镀膜和溅射镀以及离子镀都是物理气相沉积(PVD)的工艺方法。 2.蒸发镀主要包括:电阻加热蒸发、感应加热蒸发、电子束蒸发、激光加热蒸发、离子束蒸镀等。 3.您所说的E型枪镀膜和直型电子枪镀膜都是属于热蒸发镀膜的范畴。 4.S枪溅射实际就是锥形磁控溅射靶,阴极靶材为环状锥形,安装在水冷座上。环状磁钢套在靶材外边形成曲线磁场,其平行靶面的磁场分量和垂直于靶面的电场分量形成正交电磁场。电子束被约束在靶面附近运动,电子流密度很大,在靶面附近产生很强的非弹性碰撞,电离几率很大,形成很强的等离子体。

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