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通过激光直写技术制造光子设备：SEM如何作出贡献
本文由 复纳科学仪器（上海）有限公司 整理汇编
2018-08-22 10:00 381阅读次数
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光子设备被广泛应用于自然科学中，用于制造，操作和探测光。在未来，制造先进的光子设备将是一种挑战，并需要灵活性和可调谐性。因为它们需要先进的三维光刻技术，制造这些设备并非易事。激光直写技术（DLW）是一种有趣的方式，它的目标是运用液态晶体光刻胶作为感光材料。在这篇博客中，我们将描述用于生产人造橡胶光学可调谐光子设备的光刻胶是如何进行特殊设计和测试的，以及如何用扫描电子显微镜(SEM)来帮助设计改进过程。图1：激光直写流程(DWL)：i）光束聚焦，ii）激光书写，iii）开发和iv）完成结构（A.Selimisetal,MicroelectronicEngineering,132(2015),83-89）。图2:左边的SEM显微图和线条放大的图像，是通过不同的激光功率和书写速度获得的。图3:使用不同的光功率和不同光刻胶（ac）、特定结构放大图（d和e）的扫描电子显微镜的结构图案，并放大图像。标尺为10m。图4:圆柱形结构的SEM图像，用于研究光刻胶的光响应。标尺寸为10m。
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通过激光直写技术制造光子设备：SEM如何作出贡献 光子设备被广泛应用于自然科学中，用于制造，操作和探测光。在未来，制造先进的光子设备将是一种挑战，并需要灵活性和可调谐性。因为它们需要先进的三维光刻技术，制造这些设备并非易事。激光直写技术（DLW）是一种有趣的方式，它的目标是运用液态晶体光刻胶作为感光材料。在这篇博客中，我们将描述用于生产人造橡胶光学可调谐光子设备的光刻胶是如何进行特殊设计和测试的，以及如何用扫描电子显微镜(SEM)来帮助设计改进过程。图1：激光直写流程(DWL)：i）光束聚焦，ii）激光书写，iii）开发和iv）完成结构（A.Selimisetal,MicroelectronicEngineering,132(2015),83-89）。图2:左边的SEM显微图和线条放大的图像，是通过不同的激光功率和书写速度获得的。图3:使用不同的光功率和不同光刻胶（ac）、特定结构放大图（d和e）的扫描电子显微镜的结构图案，并放大图像。标尺为10m。图4:圆柱形结构的SEM图像，用于研究光刻胶的光响应。标尺寸为10m。[详细]
2018-08-22 10:00
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2024-09-28 00:12
标准
通过智能测量如何提高锂离子电池的制造工艺 监测锂离子电池制造过程中的湿度:锂离子电池在制造过程中对湿度十分敏感。这一具有挑战性的生产环境要求湿度探测仪表性能可靠并且对可能在此过程中产生的副产品具有较强的抵抗性。
出于以下三个原因，干燥空气管理在锂离子(Li-ion) 电池制造过程中至关重要。首先，为了防止发生可能导致失火和爆炸之类危险的意外化学反应；第二，为了防止出现产品质量问题；第三，为了在控制与干燥大量气体相关联的工艺中节约成本。锂离子电池制造过程是在干燥室或手套箱中执行的，其中，必须对本地微环境进行控制，以便保持**生产条件。处理环境的典型露点温度范围是从 -50 °C到 -40 °C。使用露点来表示此级别下的水蒸汽浓度，因为相应的相对湿度值低于1%。[详细]
2019-09-19 16:56
应用文章
如何启动SEM 如何启动SEM[详细]
2024-09-29 12:08
课件
扫描电镜（SEM）是如何检测样品信息的 扫描电镜（SEM）是一种用途广泛的科学仪器，它可以根据用户的需求提供样品不同类型的信息。在这里我们将阐述在扫描电镜（SEM）中产生的不同类型的电子，它们是如何被检测出来的，以及它们可以提供的信息等。电子显微镜是通过电子束来成像的。在图1中，您可以看到电子与物质相互作用所产生的各种信号，所有这些不同类型的信号携带着关于样品的不同的有用信息，由电子显微镜的操作人员根据需要选择接收的信号。例如在透射电镜（TEM）中，正如它的名字所示，检测到的信号是透过样品的电子，会提供样品内部结构的信息。在扫描电镜（SEM）下，通常需要检测两种类型的信号：背散射电子（BSE）和二次电子（SE）。图1：电子与物质相互作用区域，产生不同类型的信号[详细]
2018-08-22 10:00
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2010-10-12 00:00
报价单
激光直写系统3D应用资料 激光直写系统3D应用资料[详细]
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期刊论文
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2024-09-28 00:22
课件
清洁度设备技术协议 压力冲洗
通过喷枪对待检产品以一定压力或流速，角度进行清洗，萃取并采集残余颗粒。可以设定喷洗压力（国标）或流速（欧标），用定量或定时及设定流速的方式来操作，具体需要根据不同产品的清洁度操作规范来进行。
四壁喷淋自清洗
设备压力清洗槽上部区域装有多个广角喷头，可以自动对压力清洗槽四壁进行清洗，为实验做好前期准备。[详细]
2024-03-22 14:25
产品样册
样品制备：如何使用喷金仪（离子溅射仪）改善SEM 成像 扫描电子显微镜(SEM)是一种多功能的工具，在大部分时候，无需什么样品制备，即可提供各种样品的纳米级信息。而在某些情况下，为了获得更好的SEM图像，会推荐或甚至有必要结合喷金仪（离子溅射仪）使用SEM。在这篇博客中，我们将解释喷金仪是如何工作的，以及适用的样品类型。如上所述，SEM几乎可以对所有类型的样本进行图像处理，陶瓷、金属、合金、半导体、聚合物、生物样品等。然而，某些特定类型的样品更具有挑战性，并且需要操作者进行额外的样品制备，以便借助SEM收集高质量图片。这些额外的步骤包括在样品中表面溅射一个额外的导电薄层(~10nm)材料，如金、银、铂或铬等。需要溅射喷金的样品使用SEM前需要喷金的**类样品是电子束敏感样品。这类样品主要是生物样品，但也可能是其他种类，例如塑料材料。SEM中的电子束具有较高能量，在与样品的相互作用过程中，它以热的形式将部分能量传递给样品。如果样品是由电子束敏感的材料制成，那么，这种相互作用会破坏部分甚至整个样品结构。在这种情况下，用一种非电子束敏感材料制成的表面镀层就可以起到保护层作用，防止此类损伤。另一类经常需要溅射喷金的是非导电材料。由于它们的非导电性，其表面带有“电子陷阱”的作用。这种表面上的电子积累被称为“充电”，在图1a中可以看到，样品上产生了额外的白色区域，这会影响到样品的图像信息。为了消除充电效应，一种常见的解决该问题的的方法是降低样品腔的真空度。这样可以在样品表面附近引入带有正电荷的分子。它们与充电电子相互中和，从而消除充电效应。这已经被证明是一种行之有效的方法。然而，真空室中引入的空气分子会干扰电子束，影响图像质量。因此，为了追求高质量的SEM图像，则建议选择使用磁射喷金；镀层充当一个导电通道，使充电电子可以从材料中转移走。在图1b中，你可以看到用喷金处理去除充电效果的成像。图1：a)非导电样品的充电效应和b)喷金后的BSD成像在某些情况下，溅射喷金的样品制备技术可用于提高图像的质量和分辨率。由于其优良的高导电性，在扫描电镜成像时，溅射材料可以增加信噪比，从而获得更好的成像质量。溅射喷金的缺点由于操作简单方便，在使用溅射喷金时，几乎没有什么顾虑。只是在开始时，用户需要摸索**参数以获得**喷金效果。另外，溅射喷金有一个更重要的缺点：喷金后表面不再是原始材料，元素的衬度信息会发生丢失。在某些极端情况下，它可能会导致表面形貌失真或呈现样品的虚假成分信息。然而，在大多数情况下，只要选择合理的喷金参数，操作者既能够获得高质量的成像，又不会损失样品的原始信息。哪些材料可以作为样品的镀层材料?Z常用的溅射材料是金属，因为它的导电性高，颗粒尺寸相对较小，可以得到高分辨率成像。此外，如果需要EDX分析，SEM操作者通常会将碳镀在他们的样品上，因为碳的X射线峰不会与其他元素的峰值发生冲突。如今，当需要超高分辨率成像时，还可以使用其他晶粒组织细小的溅射材料，如钨、铱或铬等。另一些镀层材料如铂、钯和银，则具有可逆性的优点。[详细]
2024-09-28 18:34
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力士乐REXROTH液压阀如何通过流量的选择 如果选择与该流量相当的换向阀，在换向动作时可能产生较大的压力冲击，为了改善系统工作性能，可选择大一档规格的换向阀；某些系统，大部分工作状态通过的流量不大，偶然会有大流量通过，考虑到系统布置的紧凑，以及阀本身工作性能的允许，或者压力损失的瞬时增加，在许可的情况下，不按偶然的大流量工况选取，仍按大部分工作状况的流量规格选取，允许阀在短时超流量状态下使用也是可以的。对液压阀流量参数的选择，可依产品标明的公称流量为根据。如果产品能提供通过不同流量时的有关性能曲线，则对元件的选择使用就更为合理了。一个液压系统各部分回路通过的流量不可能都是相同的。因此，不能单纯根据液压泵的额定输出流量来选择阀的流量参数，而应该考虑到液压系统在所有设计工作状态下各部分阀可能通过的Zda流量。如换向阀的选择则要考虑到如果系统中采用差动油缸，在油缸换向动作时，无杆腔排出的流量比有杆腔排出的流量大许多，甚至可能比液压泵输出的Zda流量还要大；再如选择节流阀、调速阀时，不仅要考虑可能通过该阀的Zda流量，还应考虑到该阀的Z小稳定流量指标；又如某些回路通过的流量比较大。上海颖哲自动化设备有限公司专业代理进口液压产品ATOS阿托斯MOOG穆格PARKER派克VICKERS威格士REXROTH力士乐HYDAC贺德克WANDFLUH万福乐HAWE哈威等品牌部分型号现货，欢迎新老客户前来询价~ATOS阿托斯大量现货，MOOG穆格072G761D634G631系列大量现货，PARKER派克D1VW系列，D3W系列，F11F12泵系列，派克气动PHS系列，派克DENISON丹尼逊T6泵系列，VICKERS威格士PVXS系列，REXROTH力士乐PVV系列，特价供应[详细]
2018-09-18 10:00
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超导纳米线单光子探测技术介绍 超导纳米线单光子探测技术介绍[详细]
2015-05-20 00:00
实验操作
制造标准规范 制造标准规范[详细]
2024-09-14 19:41
应用文章
布鲁克 Micro-CT for SEM 布鲁克 Micro-CT for SEM[详细]
2025-05-14 10:20
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实验离心技术的设备 实验离心技术的设备[详细]
2008-12-10 00:00
期刊论文
如何通过扫描电镜能谱分析，给出可信的成分分析结果？ 能谱（EDS）结合扫描电镜使用，能进行材料微区元素种类与含量的分析。其工作原理是：各种元素具有自己的 X 射线特征波长，特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量 E，能谱仪就是利用不同元素 X 射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。 能谱定量分析的准确性与样品的制样过程，样品的导电性，元素的含量以及元素的原子序数有关。因此，在定量分析的过程中既有一些原理上的误差（数据库及标准），我们无法消除，也有一些人为因素产生的误差（操作方法），这些因素都会导致能谱定量不准确。 [详细]
2020-06-30 13:32
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2010-01-12 00:00
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Picosun 将ALD技术引入10nm 微处理器制造工艺 Picosun 将ALD技术引入10nm 微处理器制造工艺[详细]
2015-04-22 00:00
实验操作
**工具：适用于片剂制造的粉体测试技术 固体剂型药物一直广受欢迎，可以看到，大多数药物活性成分仍然采用片剂形式给药。在范围内，片剂制造商采用的各种机械设计可以追溯到一个多世纪前所开发的设备。当今常用的压片机每小时可生产多达一百万片，但不管运营规模如何或者使用了何种机械，所面临的Z根本挑战却依然不变。成功的片剂制造有赖于用均匀的松装混合粉体填充模具，经压片后，形成一致而稳定的产品。可能除了压实之后紧随的包衣步骤外，片剂通常可被视作是制造过程的Z终产品。在考虑流程优化时这一点十分重要，因为工艺中很多步骤是为了向压片机输送合适的混合料。这些步骤可能包括喂料、筛选、混合、造粒、干燥、研磨、分类以及润滑。上述不同阶段工作的波动，或者实际上是原料的变化，会对输送给压片机的混合料的特性产生影响，进而影响到加工效率。深刻了解粉体的哪些特性在压片过程中起作用，或者哪些上游工序发挥实质性影响，有助于在适当的加工阶段实现改进。这将提高产量并提升成品质量。在本文中，我们将检视自混合料从料斗输出到片剂产出的压片全过程，同时还会考虑粉体所处的不同条件。在以上分析的基础上，我们将探讨在每一环节，哪些粉体特性对性能起重要的决定作用，强调对有望准确反映加工过程中粉体表现的变量进行测量的必要性。本文所包含的数据显示，振实密度与剪切测试等不同技术对于特定应用具有一定价值，但对于加工特性的某些方面却又关系不大。[详细]
2018-08-29 10:00
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