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超音波应用於积体电路电镀铜导线制程 之研究
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本文由 上海泰坦科技股份有限公司 整理汇编
2012-07-11 00:00 281阅读次数
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超音波应用於积体电路电镀铜导线制程 之研究
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2020-03-24 18:12
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- 一、温控范围及工作电压允许波动度 温度测控的范围，由设备应用场合而定。一般实验室用的恒温恒湿培养箱，加湿时温度范围为0～50℃；光照培养箱，全光照温度范围为10～50℃，光照强度≤3000Lx；人工气候箱，加湿、全光照温度范围为15～50℃，光照强度≤3000Lx。生产用催芽机一般无制冷装置，温控下限为环境温度，上限一般为50℃，有的可达100℃，以适应55℃温汤浸种、烫种和干热处理及杀虫灭菌的需要。工作电压应以较宽为好，由于农村电压有时可低到160V，或高达250V，若允许电压波动范围窄，将导致仪器失灵或烧损。 二、选择设备容量和控温精度 目前投放市场的催芽设备有墙体隔热型催芽室和保温被套装式软棚，其放种容积可达数千升或万升以上，可供大型种苗基地使用。有全电脑控制温度、湿度、光照、通风的落地式人工气候箱，用于催芽、育苗、组织培养、周期栽培，工作容积为200～400L，适合实验室使用。也有1～20L的台式小型催芽机和小于1L的催芽盒，可供蔬菜专业户育苗和种子经营单位检测发芽率使用，其单位容积放种量为0、1～0、2kg／L。控温精度以温度偏差及其波动度表示，数显式温控仪的精度较高，其偏差及波动度约为±0、5℃；模拟式精度较低，一般为±1、5℃。 三、力求温度均匀和光照适度 温度均匀才发芽整齐。人工气候箱的温度不均匀度小于1℃，光照箱的温度不均匀度小于1、5℃，大中型催芽室的温度不均匀度小于2℃。由于大多数种子发芽无需光照，故一般催芽机都不设采光设备，少数有中弱光设备，而人工气候箱和光照箱具有3000～30000Lx的完善光照设备。对温度、光照的不均匀性，可用调盘方式解决。 四、注意催芽室的湿度 由于湿度低种子不易发芽，湿度高容易烂种，故气候箱设有调湿装置，其相对湿度可保持在50%～90%之间，有的可达到95%。而简易催芽设备则无专用调湿装置，其湿度通常采取两种措施来保证：一是用电热管直接烧水产生蒸气加热催芽室，其相对湿度随温度的变化小，一般都能保持在80%～95%；二是用电热线（板）加热空气，其湿度通过保湿盘或间歇洒水来保证，一般可控制在60%～90%之间，若不及时补水则会影响发芽。[详细]
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2024-09-28 07:00
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