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如何呈现扫描电镜样品表面的“真实形貌”

本文由 复纳科学仪器(上海)有限公司 整理汇编

2020-06-30 13:25 673阅读次数

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扫描电子显微镜(SEM)是依靠电子束与样品相互作用产生俄歇电子、特征 X 射线和连续谱 X 射线、背散射电子等信号,对样品进行分析研究。 扫描电镜在表征样品时,受诸多参数的影响,不同类型样品应选用合适的参数,才能呈现出样品更真实的表面信息。如在不同的加速电压下,电子束与样品作用所获得的信号会有很大的差别。

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