扩散泵结构和注意事项

扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一，通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-4～10-5帕，工作压力范围为10-1～10-4帕，抽速范围为几十至十几万升/秒（1升=10-3米3）。油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。

扩散泵结构

喷射喷嘴、冷却系统、扩散器、加热器、油锅、蒸气导管、扩散喷嘴以及泵体等部分共同组成了油扩散泵。当油扩散泵使用前级泵预抽到比1帕真空还要低的时候，油锅能够开始加热。沸腾时喷嘴喷出高速的蒸气流，热运动的气体分子往蒸气流中扩散，和定向运动的油蒸气分子发生碰撞。所以动量由气体分子所获得，与油蒸气分子运动方向相同的定向流产生。到前级，油蒸气被冷凝，气体分子被释放出来，也就被前级泵抽走而使得抽气目的达到。

扩散泵保养注意事项

1、橡胶应当可靠地在连接密封处进行密封。

2、如果暂时不使用扩散泵，在保管期间应当在室温保持真空状态，防止零件腐蚀以及泵油污染，并且吹净冷却水套内的剩水。

3、泵的性能在长期的工作以后会慢慢地变坏，应当对油量是否减少或氧化进行检查，在必要的时候对油量进行增加，在对新油进行更换时需要清洗以后再烘干。

4、油扩散泵在进行安装或者维修的时候应当垂直地进行放置，使泵芯部件处于正常工作状态。

5、在对零件及泵腔进行清洗的时候，shou先使用航空汽油清洗，之后使用丝绸蘸yi醚或丙酮进行擦洗，并且放到80-100摄氏度下进行烘干或者使用电吹风进行吹干。

6、在清洗结束以后，根据顺序进行装配，值得注意的是需要使泵芯垂直于泵底并且和泵腔同心得到保持，需要根据原有的要求将各级喷嘴间隙调整好。