扩散泵预防方法

扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一，通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-4～10-5帕，工作压力范围为10-1～10-4帕，抽速范围为几十至十几万升/秒（1升=10-3米3）。油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。下面就让小编带你了解一下扩散泵预防方法。

扩散泵预防方法：

将系统油蒸气返流消除的具体方法如下：

1、对操作工艺进行改善，调节扩散泵的加热功率到zui好功率，防止有泵油爆沸的情况发生，通常在加热开始和关闭过程中，扩散泵返流峰值将会出现，因此能够使用泵口处的高真空阀门来控制以防止返流。

2、将液氢冷阱或吸附阱加装于扩散泵入口处来对返流油蒸气进行捕集。

3、对优质的扩散泵工作液进行选用。

4.机械泵与扩散泵切换时的压力过渡区通过对对扩散泵的启动功率的加大来缩短。

5、返流危险区利用对系统操作工艺的改变或者对阀门的使用来避开。比如慢慢地开启一个根据预定速度开启的高真空阀，使得进入扩散泵的气体流量比其zui大排气还要低获得保证。并且为了让扩散泵能够工作，需要让机械泵抽速散泵前级压力获得保证。如此就可以使得过渡区的出现被避开。